徐凯
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路远
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凌永顺
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乔亚
,
唐聪
材料科学与工程学报
采用直流磁控溅射法制备氧化钒薄膜,并采用不同的温度对其进行氧化法热处理,通过XRD、SEM、四探针薄膜电阻测试,分析了不同热处理温度对氧化钒薄膜的晶相特性与热敏特性的影响.实验分析证明热处理温度升高后(400℃)得到的薄膜热敏特性良好,其室温电阻为160KΩ·cm,室温电阻温度变化系数为-2.4％/℃,变温过程中(20～98℃)其平均值约-1.98％/℃,表明温度升高有利于改善薄膜热敏特性,在非制冷红外探测器应用方面具有发展潜力.
关键词:
氧化钒
,
氧化法
,
热处理温度
,
热敏特性
徐凯
,
路远
,
凌永顺
,
乔亚
,
唐聪
材料科学与工程学报
VO2具有在68℃左右低温半导体态-高温金属态(SMT)可逆相变的特性,在光电开关、光调制和存储方面有广泛的应用前景.本文总结了目前VO2相变理论研究中有代表性的成果.结合一般固态相变分类理论,微观上从VO2的晶胞结构、价带杂化、主宰方式等方面,宏观上从热力学函数等方面,综述了目前对VO2相变类型与机理分析的主流观点,综述结果对今后的研究工作具有一定的指导意义.
关键词:
VO2
,
相变类型
,
相变机理
,
晶体结构
,
价带杂化
徐凯
,
路远
,
凌永顺
,
乔亚
材料科学与工程学报
采用直流磁控溅射法与氧化法热处理相结合的工艺,在Si基底上制备VO2薄膜,通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、X射线电子能谱(XPS)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)透射率测试,分析了VO2薄膜截面结构、晶相成分、成分价态及红外透射率相变特性.实验分析表明,采用直流磁控溅射与氧化热处理相结合的方法,可获得主要成分为具有明显择优取向单斜金红石结构VO2(011)晶体的氧化钒薄膜,其红外透射率具有明显相变特性,相变中心温度为57.5℃,3～5μm、8～12μm波段的红外透射率对比值达到99.5％,适合应用于红外探测器的激光防护研究.
关键词:
二氧化钒
,
直流磁控溅射
,
氧化热处理
,
红外相变特性
