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基于微孔SiO2栅介质的透明氧化物薄膜晶体管

颜钟惠 , 王瑶 , 吴国栋 , 轩瑞杰 , 李想

材料导报

采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)法制备微孔SiO2薄膜并将其作为栅介质,制作了基于微孔SiO2栅介质层的透明氧化物薄膜晶体管.利用场发射扫描电镜、阻抗分析仪以及半导体分析仪对样品进行表征.结果表明,微孔SiO2栅介质具有双电层效应,这种微孔SiO2栅介质透明氧化物薄膜晶体管器件具有工作电压低,开关电流比大,透光性高,稳定性强等良好性能.

关键词: 微孔SiO2 , 双电层效应 , 透明氧化物 , 薄膜晶体管