许晓静
,
盛新兰
,
张体峰
,
刘敏
,
辛喜玲
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2012.08.007
采用磁控溅射技术,使用SiC薄膜和Ti膜作为中间层在Cr12MoV钢表面制备掺碳TiB2 (TiB2-C)薄膜,研究掺碳TiB2薄膜的Raman光谱、纳米压痕和摩擦行为.结果表明:溅射功率过高或过低都不利于掺入的C元素在薄膜中以DLC形式存在；C元素掺杂降低了TiB2薄膜的纳米硬度和弹性模量；以DLC形式存在的掺入的C能有效降低室温干摩擦(Si3N4球对摩件)条件下TiB2薄膜的摩擦因数.
关键词:
掺碳
,
TiB2薄膜
,
中间层
,
摩擦因数
,
磁控溅射
许晓静
,
郝欣妮
,
夏登福
,
陈丹
,
田琨
,
辛喜玲
机械工程材料
采用室温磁控溅射技术在AZ91D镁合金表面制备了CNx/SiC双层薄膜(SiC为中间层),研究了界面结合情况、薄膜的力学和摩擦磨损性能.结果表明:CNx/SiC双层薄膜表面颗粒结合紧密,中间层SiC与基体和CNx层界面的结合很好,均发生了呈梯度的元素扩散,膜基附着力在12N以上;CNx薄膜具有低的纳米硬度(3.85GPa)、低的弹性模量(30.46GPa),但却具有高的硬度与弹性模量比值(0.126)以及好的摩擦磨损性能;在以氮化硅(Si3N4)球为对偶件的室温干摩擦条件下,其摩擦因数约为0.19,磨损率为4.89×10(-6)mm3·m(-1)·N(-1).
关键词:
镁合金
,
薄膜
,
纳米压痕
,
摩擦磨损
,
磁控溅射
陈丹
,
许晓静
,
田琨
,
辛喜玲
,
于春杭
,
盛新兰
功能材料
采用室温磁控溅射技术在钛合金(Ti6Al4V)表面制备SiC/TiB2-TiN双层薄膜,SiC为中间层,研究了TiB2-TiN复合薄膜的组织结构和摩擦磨损性能.结果表明,TiB2-TiN复合薄膜具有纳米尺度颗粒(畴)的微结构特征,SiC薄膜与基材和TiB2-TiN复合薄膜间都具有明显且呈梯度的元素扩散;在载荷200g、室温Kokubo人体模拟体液条件下,与氮化硅(Si3N4)球(直径4mm)对摩,其平均摩擦系数约为0.22,磨损速率在10-6mm3/(m·N)级;并且TiB2-TiN复合薄膜对Kokubo人体模拟体液中的Ca、P元素具有很强的黏附能力.
关键词:
钛合金
,
TiB2-TiN复合薄膜
,
摩擦磨损性能
,
中间层
,
磁控溅射
