刘宾宾
,
苏治斌
,
辛有飞
,
路超
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2011.03.011
以SnCl4·5H2O、Ce(NO3)3·6H2O、CuCl2·2H2O、La(NO3)3·6H2O为原料,柠檬酸为络合剂,采用sol-gel法,浸渍提拉技术制备了纯SnO2及其掺杂薄膜.利用XRD分析方法进行了物相结构分析,研究了掺杂比对各掺杂SnO2薄膜元件气敏特性的影响.发现掺杂比相同时,掺杂Ce3+的SnO2样品的晶粒尺寸最小,为9.5nm;Ce3+、Cu2+、La3+掺杂量为4%时,对64.50ppm乙醇气体的灵敏度都最大,分别为28.1、26.4、24.4.
关键词:
掺杂
,
SnO2
,
薄膜
,
乙醇
,
气敏
