迟振华
,
王天生
,
漆汉宏
,
于栋利
,
何巨龙
,
刘世民
,
田永君
,
李东春
物理测试
doi:10.3969/j.issn.1001-0777.2003.04.002
探索了采用化学气相沉积法,在LaAlO3单晶基片上原位制备了MgB2超导薄膜.X射线衍射(XRD)分析表明薄膜的相纯度不理想,扫描电子显微镜(SEM)观察表明薄膜的表面比较粗糙,用标准四引线法测得薄膜的起始转变温度(TConset)为30 K,零电阻温度(TCO)为18 K.
关键词:
二硼化镁
,
超导薄膜
,
化学气相沉积
,
原位
王天生
,
田永君
,
于栋利
,
迟振华
,
胡前库
,
罗晓光
稀有金属材料与工程
用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在蓝宝石基片上原位制备了MgB2超导薄膜,并用XRD、SEM和dc SQUIDs研究了基片温度和时间对薄膜相组成、表面形貌和超导临界转变温度Tc的影响.结果表明,HFCVD原位生长MgB2薄膜可以抑制MgO杂质的生成.基片温度在500℃以下,MgB4杂相容易出现;在500℃以上时,可以消除MgB4杂相;在600℃时,获得了纯单相的MgB2薄膜,其超导临界转变温度达到36 K.随基片温度升高,薄膜结晶性、致密度和超导临界转变温度提高.
关键词:
MgB2薄膜
,
微观结构
,
超导电性
,
热丝化学气相沉积
