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徐国敏 , 赵高扬 , 张卫华 , 邓小翠 , 谭红 , 何力
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.05.013
应用基于原子力显微镜与铁电分析仪联用的方法,在无顶电极的情况下,直接测试了PZT微阵列格点的电滞回线.结果表明,应用铁电分析仪与原子力显微镜联用的测试技术能够表征铁电电容的电滞回线,并且可以定性地评价薄膜微电容的铁电特性.
关键词: 锆钛酸铅 , 铁电薄膜 , 电滞回线 , 微细图形
