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氢原子在Cat-CVD法制备多晶硅薄膜中的作用

邝俊峰 , 付国柱 , 高博 , 高文涛 , 黄金英 , 廖燕平 , 荆海

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2004.06.009

采用钨丝催化化学气相沉积(Cat-CVD)方法制备多晶硅(p-Si)薄膜,研究氢气稀释率(FR(H2)/(FR(H2)+FR(SiH4))对制备多晶硅薄膜的影响.XRD和喇曼光谱分析分别显示(111)面取向的多晶硅峰及喇曼频移为520 cm-1多晶硅峰的强度随氢气稀释率的增加而增强,由喇曼光谱计算的结晶度也有同样的趋势.通过分析测试结果得出,氢原子以表面脱氢、刻蚀弱的Si-Si键,及进入晶格内部进行深度脱氢等方式改善薄膜材料的结晶度.

关键词: 多晶硅薄膜 , 氢原子 , 催化化学气相沉积

TFT-OLED驱动电路的研究

张志伟 , 荆海 , 邝俊峰 , 蔡克烜 , 郜峰利 , 朱长春

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2004.06.014

从OLED的发光原理出发,介绍了OLED器件的结构特点和常用的TFT-OLED像素电路的结构.利用TFT-OLED行列驱动芯片和控制芯片,通过MCS-51单片机的控制来驱动240×320×3点阵的TFT-OLED屏,实现大信息量的图形显示.该设计方案所需外围器件少,硬件结构简单,有利于提高系统的运行效率.介绍了驱动模块的功能和硬件接口电路的设计方法,并给出了单片机的软件流程图.

关键词: TFT-OLED , 像素电路 , 有源驱动 , 单片机控制

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