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磺酸肟酯类光产酸剂的制备及性能研究

解晓艳 , 庞玉莲 , 肖时卓 , 杨丽 , 邹应全 , 陈萍 , 周树云

影像科学与光化学 doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2013.04.007

本文合成了4种磺酸肟酯类非离子型光产酸剂,用核磁氢谱确认了产物结构,并测试了其热稳定性、紫外吸收特性及产酸效率.结果表明,合成的4种磺酸肟酯类光产酸剂在350-450 nm和深紫外区(DUV,248 nm)都有很好的吸收,在420 nm波段曝光下,(5-对三氟甲基苯磺酸酯亚胺-5H-噻吩-2-亚胺)-苯乙腈(P-2)产酸率最高,可达0.96;(5-对甲基苯磺酸酯亚胺-5H-噻吩-2-亚胺)-苯乙腈(P-1)在365 nm和420 nm两个波段下,均有较高的产酸率.利用实时红外(RT-IR)研究了相同浓度下4种光产酸剂对乙烯基醚化合物引发的光聚合动力学,同时研究了光产酸剂浓度对光聚合反应的影响,发现产酸剂浓度为2%时,光照30 s乙烯基醚化合物的双键转化率(DC%)即能达到80%.

关键词: 非离子型光产酸剂 , 磺酸肟酯 , 产酸率 , 实时红外

新型阻溶促溶酚树脂用于热敏CTP版的性能研究

沙栩正 , 邹应全

影像科学与光化学

使酚树脂与乙烯基醚发生反应,合成出一种新型醚化物,作为新型阻溶促溶剂.将它与产酸剂、背景染料、红外染料、成膜树脂、其它助剂及有机溶剂作为热敏CTP组合物.研究了该热敏CTP组合物的化学性能和热敏成像性能,发现在热敏CTP组合物中适量的新型阻溶促溶剂能够使热敏CTP版的热敏性、显影性、抗碱性及耐异丙醇性都得到了较大的改善.

关键词: 阻溶促溶树脂 , 酚醚树脂 , 热敏CTP版材

氨基甲酸酯乙烯基醚类化合物光聚合性能研究

辛阳阳 , 肖时卓 , 周树云 , 陈萍 , 邹应全

影像科学与光化学

本文合成了一种双官能度的氨基甲酸酯乙烯基醚和一种三官能度的氨基甲酸酯乙烯基醚,并用实时傅立叶红外光谱分别监测了单官能度、双官能度和三官能度的乙烯基醚化合物在三芳基六氟锑酸锍鎓盐阳离子光引发剂( PAG-201)引发下的光聚合情况,对其光聚合动力学性能进行了比较,研究了引发剂PAG-201的浓度对双官能度单体光聚合的影响.结果表明,随着官能度的增加,乙烯基醚化合物的转化率和聚合速率降低.此外,对它们的聚合产物进行的热失重分析表明,随着官能度的增加,聚合产物的热稳定性增加.本文的结果对于研究开发基于氨基甲酸酯乙烯基醚单体的阳离子聚合体系具有较好的指导意义.

关键词: 氨基甲酸酯乙烯基醚 , 阳离子光聚合 , 聚合动力学 , 热稳定性

硫鎓盐产酸剂的合成及其产酸效率

杨幸幸 , 邹应全

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2009.10.014

合成了6种适用于248 nm光致抗蚀剂的硫鎓盐产酸剂,其中吩噻(噁)体系的产酸剂为自行设计合成. 利用IR、H NMR、UV等测试技术进行了结构表征和紫外吸收测定,各化合物的最大紫外吸收在250~285 nm之间,吸收域较宽,适用性较强.同时,利用酸敏染料罗丹明B遇酸异构变色的特点,使用紫外!可见分光光度计定量检测了6种产酸剂在乙腈溶剂中的产酸效率,其中硫杂蒽酮系列的产酸剂产酸性能最好. 最后使用荧光追踪法研究了溶剂极性对产酸效率的影响,发现产酸剂的产酸性能同溶剂的选取密切相关,随着溶剂极性的减小,产酸效率随之降低. 对6种硫鎓盐的产酸效率检测结果可以为产酸剂进一步用于248 nm光致抗蚀剂配方提供详细的参考.

关键词: 硫鎓盐 , 产酸剂 , 产酸效率

酸酐改性PVA树脂用于阴图PS版成膜树脂的性能研究

邝良菊 , 邹应全 , 杨幸幸

影像科学与光化学

聚乙烯醇(PVA)首先与丁醛进行缩醛反应,再与酸酐进行酯化反应合成了酸酐改性PVA树脂.将此树脂与进口重氮树脂、染料和有机溶剂以一定比例混合形成了阴图PS版感光胶.本文研究了B/P以及酸酐改性PVA树脂的分子量、缩醛度、酯化度等因素对阴图PS版成像性能的影响.结果表明酸酐改性PVA树脂对阴图PS版的显影性能,亲油墨性和耐磨性都起关键作用,对阴图PS版的感度和保存稳定性也有一定影响.因此其分子量、酯化度和缩醛度的确定,必须综合考虑各项性能之间的平衡.缩醛度为60-80 mol%,酯化度10-15 mol%,羟基5-25 mol%,分子量约为4-8万,B/P为4-4.5时,制得的阴图PS版的感度、显影性、着墨性和耐磨性都较好.

关键词: 阴图PS版 , 酸酐改性PVA树脂 , 重氮树脂

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