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离子镀Ti(Al)N涂层的结构与耐蚀性

于力 , 郎丰群 , 于志明 , 徐家寅 , 金柱京

腐蚀科学与防护技术 doi:10.3969/j.issn.1002-6495.1999.02.004

用空心阴极离子镀制备了Ti(Al)N和TiN涂层. 0.5mol/L的H2SO4溶液中极化曲线结果表明, Ti(Al)N涂层的耐蚀性优于TiN涂层. 电子探针(EPMA)、X射线衍射和扫描电镜(SEM)等分析了Ti(Al)N涂层的元素分布特征及组织结构:Al元素在界面处富集, 呈连续带状分布,并以单质状态存在;与单一TiN涂层相比,Ti(Al)N涂层为不贯穿的更致密的柱状晶和纤维状组织结构.对涂层组织结构与耐蚀性进行了探讨.

关键词: Ti(Al)N涂层 , 空心阴极离子镀 , 组织结构 , 耐蚀性

离子镀Ti(Al)N涂层的结构与耐蚀性

于力 , 郎丰群 , 于志明等

腐蚀科学与防护技术

用空心阴极离子镀制备了Ti(Al)N和TiN涂层,0.5mol/L的H2SO4 溶液中极化曲线结果表明,Ti(Al)N涂层的耐蚀性优于TiN涂层。电子探针(EPMA)、X射 线衍射和扫描电镜等分析了Ti(Al)N涂层的元素分布特征及组织结构。 

关键词: 涂层 , hollow cathode discharge ion plating , structure and anti- corrosion property , null

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