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超高分子量聚乙烯表面金属化及类金刚石薄膜沉积复合处理研究

裴亚楠 , 谢东 , 郐睍 , 孙鸿 , 冷永祥 , 黄楠

功能材料

采用超高分子量聚乙烯(UHMWPE)表面金属化及类金刚石薄膜沉积复合处理工艺,提高超高分子量聚乙烯的耐磨性.首先采用磁过滤阴极真空弧源沉积技术(FCVA)在UHMWPE表面制备约30nm钛金属层,使UHMWPE表面金属化,然后再沉积DLC薄膜,研究结果表明,UHMWPE表面金属化后,DLC薄膜沉积过程中,电荷累积效应消除,使DLC薄膜的沉积速率、SP3健含童、硬度、耐磨性提高.

关键词: 超高分子量聚乙烯 , 金属化 , 类金刚石薄膜 , 硬度 , 耐磨性

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