姚劲刚
,
胡文琦
,
叶璐
,
郑列华
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2014.05.002
在现代光学检测中,凸非球面的检测一直是一个难点.辅助面的背向零位检测方法,从三级像差理论出发,通过计算非球面的法距差,来探讨辅助面对凸非球面法距差的补偿校正能力.这种检验方法可用于偏心率-1/n2＜e2＜1/n2的凸非球面.辅助面有两个作用,其一为将实体非球面的球心引入到空气中;其二则为辅助面与凸非球面的组合可以补偿凸非球面的法距差.通过理论分析与Zemax编程计算得出当-0.5＜e2＜0.5时非球面的RMS值均优于λ/30.在工程实际应用中,通过此方法检测的凸非球面波前误差优于λ/100.可以得出辅助面对凸非球面的法距差具有一定的补偿能力这一结论.
关键词:
几何光学
,
辅助面补偿
,
凸非球面检测
杨珂
,
傅东明
,
张金平
,
郑列华
连铸
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2016.01.001
针对非球面反射镜在抛光初期干涉仪不能全口径检测面形误差的问题,提出一种三坐标测量机(CMM)和数字干涉仪组合测量以实现全口径波前复原的方法.将CMM与干涉仪测量数据组合,即面形误差以干涉测量为主,干涉检测不能复原的局部波前采用CMM测量数据进行精细重构,从而获得可用于数字化加工的全口径面形误差,并最终达到非球面镜全口径干涉检测.采用该方法对Φ为540 mm的离轴非球面反射镜在精磨后期进行数据组合补偿,成功实现了反射镜从精磨阶段到抛光阶段的全口径波前检测,从而证明了该方法对实现非球面镜全口径检测有效可行.
关键词:
光学检测
,
波前复原
,
三坐标测量机
,
离轴非球面
苗宇
,
金蔚青
,
潘志雷
,
蔡丽霞
,
郑列华
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2002.01.004
最近建立一套用于晶体三维实时观察的装置,主要分为光学观察部分,晶体生长部分,结果处理部分.采用二目观察法记录晶体生长和流体运动.设计并制造适于Bridgman法晶体生长的生长炉和坩埚.初步观察到NaNOa晶体的固液界面形貌,并通过图像处理软件还原为三维真实图像.
关键词:
熔体晶体生长
,
三维实时观察
,
图像处理
姚劲刚
,
郑列华
,
郝沛明
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2017.03.003
为实现小口径Hindle透镜对大口径凸非球面的高精度检测,提出了一种新的凸非球面无光焦度双透镜Hindle检验方法,通过加入无光焦度校正透镜有效解决了传统Hindle检验的不足.对口径180mm、半径380mm、偏心率2.8的凸非球面进行了设计分析,分别给出了不同光焦度分配及不同无光焦度双透镜间距时系统的残余波像差曲线图,得出较优的系统残余波像差为0.0006λ,验证了该方法的可行性.
关键词:
几何光学
,
Hindle检验
,
无光焦度透镜
,
凸非球面检测
