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ONO反熔丝器件寿命预测模型的建立

刘佰清 , 洪根深 , 郑若成 , 刘国柱 , 敖一程 , 王印权

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2015.14.033

基于1.0 μm ONO(SiO2-Si3 N4-SiO2)反熔丝CMOS工艺下的反熔丝单元器件,研究了ONO反熔丝单元器件的TDDB寿命预测模型.研究发现ONO反熔丝单元器件的温度激活能Ea与电场强度Eeff存在线性关系,证明了ONO反熔丝器件的TDDB寿命预测模型满足“E Model”;并基于TDDB可靠性实验数据分析,拟合“E Model”模型中的各个参数,建立了寿命预测模型.同时,通过建立的寿命模型预测不同批次的ONO单元器件寿命,与实测值对比发现,寿命预测模型具有较高的准确性.

关键词: ONO反熔丝 , TDDB , E Model , 激活能 , 寿命模型

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