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用红外热成像技术测量MEMS器件的热特性

朱德忠 , 张荣海 , 顾毓沁 , 郝京阳

工程热物理学报

微电子机械系统(MEMS)的很多器件均凭借热工作原理,在其设计、性能评估中都需要了解热特性,特别是温度分布的动静态特性.本文用显微红外热成像技术测试分析了气体传感器微热板、微机械热对流加速度计的微加热器、热驱动微热泵芯片的温度分布特性及微辐射热计的热阻特性.在测试中考虑了对象的有效发射率等影响测量精度的系统因素.

关键词: MEMS , 红外热成像 , 温度分布