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气相还原制备超细微铌和钽粉末

朱骏 , 马春红 , 郭晓菲 , 朱鸿民

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2007.01.012

在氩气气氛中,在950℃条件下用氢气还原相应的气态氯化物分别制取了铌和钽的超细微粉末.X射线衍射(XRD)分析结果表明,对于五氯化铌还原产物为金属铌与铌氢化物的混合物,对于五氯化钽还原产物则为金属钽;透射电子显微镜(TEM)分析显示,粉末产物颗粒细小且分布比较均匀,粉末产物的粒径在30~40 nm之间.

关键词: 化学气相沉积(CVD) , 氢还原 , , , 超微粉末

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