郭进进
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刘爱华
,
满宝元
,
刘枚
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姜守振
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侯娟
,
孔德敏
材料导报
采用激光分子束外延法在蓝宝石衬底上异质外延β-Ga2O3薄膜.研究了氧分压对薄膜表面结构和结晶程度的影响,结果表明β-Ga2O3薄膜的均方根粗糙度和X射线衍射谱峰的半高宽随着氧分压的减小呈现先减小后增大的趋势.并对氧分压为10-2Pa条件下的薄膜进行了光致发光谱、紫外透射谱、禁带宽度变化和拉曼谱的研究,结果显示β-Ga2O3薄膜的带隙随氧分压的减小而不断增大,β-Ga2O3薄膜具有蓝光发光和深紫外高透射特性,是用于光电器件特别是紫外特性氧敏传感器的最佳材料之一.
关键词:
β-Ga2O3薄膜
,
氧分压
,
紫外透射
,
光致发光
,
禁带宽度
马玉英
,
刘爱华
,
许士才
,
郭进进
,
侯娟
,
满宝元
材料导报
采用脉冲激光沉积(PLD)法在p型Si(100)衬底上制备了β-FeSi2半导体薄膜,并在沉积系统中进行了800℃、3h的原位高温退火过程,最后采用X射线衍射仪、3D显微镜、原子力电子显微镜、荧光光谱仪分析了实验样品的晶体结构、表面形貌、元素组成、红外吸收和光致发光特性.分析实验结果发现,制备的单相β-FeSi2多晶半导体薄膜结晶质量良好,β-FeSi2在Si(100)衬底上沿(202/220)方向择优生长,且在常温下测得了β-FeSi2半导体薄膜的光致发光谱.
关键词:
β-FeSi2
,
薄膜
,
PLD
,
光致发光
,
3D显微分析
