张华
,
刘慧舟
,
杨坚
,
金薇
,
杨玉卫
,
古宏伟
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2007.03.012
用带有反应溅射装置的走带系统在立方织构的Ni-5% W衬底上连续制备了长10 cm的CeO2隔离层.为避免金属衬底氧化,以H2O作为反应气体.论文主要研究了衬底温度、走带速率对CeO2隔离层外延生长的影响.用X射线θ～2θ扫描,ψ扫描对薄膜的取向和织构进行表征.结果显示在温度650 ℃,走带速度2.5 mm/s的条件下,连续制备的CeO2隔离层有效地继承并改善了基底的织构,平均平面内ψ扫描半高宽为6.18°,扫描电镜(SEM)观察表明薄膜表面致密,且无裂纹生成.
关键词:
反应溅射
,
连续沉积
,
CeO2隔离层
,
NiW衬底
杨玉卫
,
杨坚
,
古宏伟
,
刘慧舟
,
张华
,
金薇
硅酸盐通报
类金刚石膜是无定形碳中含sp3键的亚稳态结构.由于它的组成、光学透过率、硬度、折射率和在化学腐蚀剂中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金刚石,其应用领域不断被拓宽,因此对类金刚石的研究也日益成为热点.本文介绍了类金刚石的性能、制备类金刚石膜的物理气相沉积和化学气相沉积方法,概括了类金刚石膜在机械、电磁学、光学、医学以及其它领域的应用,最后指出了类金刚石膜的研究现状及其发展趋势.
关键词:
类金刚石薄膜
,
制备工艺
,
应用
张华
,
金薇
,
刘慧舟
,
冯校亮
,
杨坚
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2009.01.008
采用反应溅射的方法在具有立方织构的Ni基底上连续制备了 Y2O3隔离层.用X射线θ～2θ扫描, φ扫描对薄膜的取向和织构进行表征,用扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的表面形貌进行观察.主要研究了走带速率对隔离层外延生长及表面形貌的影响.实验表明:随着走带速率的增大,Y2O3的平面内φ扫描半高宽(FWHM)增大,(400)峰的相对强度减小,晶粒更加细小;同时,制备的三层Y2O3隔离层,其面内φ扫描半高宽取决于第一层的半高宽;最终在三层Y2O3隔离层上沉积了有良好外延取向的YBCO超导层,其FWHM为8.0°.
关键词:
走带速率
,
Y2O3隔离层
,
反应溅射
,
表面形貌
张华
,
金薇
,
刘慧舟
,
杨坚
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2008.04.009
报道了用反应溅射的方法在有强立方织构的NiW基带上连续制备Y2O3隔离层的研究结果.用X射线θ～2θ扫描,ψ扫描对薄膜的取向和织构进行表征,用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面形貌进行观察.论文主要研究了H2O分压对Y2O3隔离层外延生长以及表面形貌的影响,结果表明:H2O分压过小,Y2O3织构相对衬底有所弱化,薄膜表面不透明,原子覆盖不均匀,且不利于后续隔离层YSZ的生长.同时,临界H2O分压与温度和总气压的关系也作了详细研究.
关键词:
反应溅射
,
Y2O3隔离层
,
H2O分压
,
表面形貌
金薇
,
黄永波
,
万伯顺
催化学报
doi:10.1016/S1872-2067(10)60106-4
以商业易得的(-)-麻黄碱、(+)-伪麻黄碱和各种手性氨醇为主要原料,经过简单的两步反应,合成了一系列基于甲磺酰基的磺酰胺-氨醇(SAA)配体,并将其用于催化苯乙炔基锌对醛的不对称加成反应.在没有Ti(OiPr)4等金属试剂的条件下,配体表现出较好的不对称诱导能力,取得了高达83%ee.
关键词:
磺酰胺-氨醇配体
,
不对称加成
,
炔基化反应
,
醛
