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双辉等离子体表面冶金金属化CVD金刚石自支撑膜研究

高雪艳 , 钟强 , 李晓静 , 黑鸿君 , 高洁 , 申艳艳 , 贺志勇 , 刘小萍 , 于盛旺

人工晶体学报

采用双辉等离子表面冶金技术,在金刚石自支撑膜表面制备了W金属层.借助扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和X-射线衍射仪(XRD)等分别对金属化后的金刚石膜的微观形貌、元素分布及物相组成进行了表征与分析;并通过测试Ag-Cu钎焊的金刚石膜-硬质合金刀片样品的剪切强度,评价金属层与金刚石膜的结合强度.实验结果表明:所制备的W金属层连续、致密,由大量纳米尺度的颗粒状团聚物构成;在金属层与金刚石界面一定深度区域内,存在W和C元素的相互扩散,并且反应生成了WC、W2C等金属碳化物颗粒,表明金属层与金刚石膜之间已形成了牢固的化学键合.

关键词: 金刚石自支撑膜 , 双辉等离子表面冶金技术 , W金属层 , 元素扩散

气体流量对TYUT型MPCVD装置沉积大面积金刚石膜的影响

郑可 , 钟强 , 高洁 , 黑鸿君 , 申艳艳 , 刘小萍 , 贺志勇 , 于盛旺

人工晶体学报

使用自行研制的频率为2.45 GHz的TYUT型MPCVD装置,以H2和CH4为气源,在功率为8 kW、基片温度为1000℃、气体流量为100~800 sccm条件下,进行了直径为65 mm的大面积金刚石膜的沉积实验.使用扫描电镜、X射线衍射仪、数字千分尺和Raman光谱仪等仪器分别对金刚石膜的表面形貌、取向、厚度和品质进行了表征.实验结果表明,气体流量的变化会对金刚石膜的晶粒尺寸,晶体取向,沉积速率,厚度均匀性和品质产生较大的影响.气体流量在300~600 sccm范围内制备的金刚石膜才兼具晶粒尺寸均匀性好、表面缺陷少和品质高的优点.

关键词: 气体流量 , MPCVD , 金刚石膜 , 均匀性 , 晶粒取向 , 品质

新型高功率MPCVD金刚石膜装置的数值模拟与实验研究

安康 , 刘小萍 , 李晓静 , 钟强 , 申艳艳 , 贺志勇 , 于盛旺

人工晶体学报

根据高功率MPCVD装置所需要具备的条件,提出一种新型的高功率MPCVD装置结构.先使用HFSS软件对模型的各部分尺寸进行了初步优化;然后使用COMSOL软件通过对高功率、高气压条件下气体电离形成等离子体时的电场和等离子体分布的模拟,并对气体进出方式进行了验证;最后根据模拟结果建立了新型MPCVD装置,并使用所制造的装置在高功率、高气压条件下进行了大面积金刚石膜的制备.结果表明:所提出的高功率MPCVD装置模型经过结构优化后,在基片上方对电场具有较好的聚焦能力,强度高于同类装置;高功率、高气压条件下所产生的等离子体也仅在基片上方均匀分布,与石英环之间被中间腔体隔离,有效避免其对石英环的刻蚀;所设计的进出气方式能够保证反应气体在基片表面均匀分布;使用所制造的装置能够在高功率、高气压条件下实现大面积高品质金刚石膜的快速沉积.

关键词: MPCVD装置 , 金刚石膜 , 高功率 , 数值模拟

燃煤特性对回转窑结圈的影响

侯恩俭 , 王斌 , 杨永斌 , 李骞 , 钟强 , 张雁 , 全利

钢铁研究

为了解决或延缓回转窑结圈的问题,分析了A,B,C3种燃煤的反应性、燃烧性及其灰分的软熔性和粘结性,同时分析了燃煤特性对回转窑结圈的影响.研究结果表明:煤着火温度低,能减少窑内黑火头的范围;煤反应性较弱,燃烧时间较长,其在回转窑中燃烧区间长,保证窑尾和链篦机预热段所需高温;煤灰软熔性好,不易形成低熔点物质;煤灰粘结性弱,不易粘结而形成结圈.

关键词: 煤炭 , 回转窑 , 燃烧特性 , 粘结特性 , 结圈

气体进出方式对MPCVD大面积金刚石膜均匀性的影响

钟强 , 黑鸿君 , 李晓静 , 张阿莉 , 申艳艳 , 刘小萍 , 于盛旺

人工晶体学报

使用自行研制的MPCVD装置,在功率为8 kW条件下、气体由四种方式进出反应腔体时,在直径65 mm的Si基片上制备了金刚石膜.分别利用数字千分尺和Raman光谱对金刚石膜的厚度和品质均匀性进行了表征.使用Comsol软件模拟了不同进出气方式下腔体内部气体流场的分布,并分析了气体进出方式与所制备金刚石膜均匀性之间的关系.研究表明,反应气体进出位置的改变对等离子体的状态没有明显的影响,但对膜的厚度和品质均匀性有影响较大.气体由中间腔体侧壁上的进气孔进入时,容易造成膜厚度和品质的不均匀性.气体由耦合天线的圆盘中心的进气孔进入时,膜厚度和品质的均匀性明显提高,而由锥形反射体底平面上的出气孔排出时均匀性最优.反应气体流场分布的不均匀性和等离子体区域流速的差异是导致金刚石膜厚度和品质不均匀性的主要原因.

关键词: 气体进出方式 , MPCVD , 金刚石膜 , 均匀性 , 流场模拟

无模板交流电沉积法制备金纳米/微米线

袁建国 , 钟强 , 周兆英 , 杨兴

稀有金属材料与工程

采用交流电沉积法,在预制备的铂电极对之间可以获得不同形貌的金纳米结构.通过控制实验条件,如交流电频率、电镀液浓度等,可沉积出直线型金纳米线.利用示波器监测电路电流控制电路的通断,可以使沉积出的金线接通电极对.通过TEM观察和伏安特性测试,使电沉积金线为单晶结构且具有较低的电阻率(7.8×104 Ω·m),交流电沉积法生长金线在微/纳连接和生物/化学传感器中具有潜在的应用.

关键词: 交流电沉积 , 金纳米/微米线 , 单晶 , 微/纳连接

硫酸盐镀铜溶液中铜阳极性能的研究

王为 , 刘学雷 , 巩运兰 , 钟强

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2001.09.005

硫酸盐镀铜铜阳极的含磷量究竟是采用低磷(0.02%~0.06%),还是采用高磷(0.1%~0.3%),一直以来,国内外观点各有不同,为了弄清含磷量高低铜阳极的性能差异,本文对用于硫酸盐镀铜的无氧钝铜阳极、高磷铜阳极和低磷铜阳极进行了电化学行为的对比研究,并结合对于不同含磷量铜阳极的组织结构分析,探讨了造成其性能差异的原因.

关键词: 磷铜阳极 , 含磷量 , 硫酸盐镀铜

外加电位对C110钢抗硫化物应力开裂及氢渗透行为的影响

赵国仙 , 李婷 , 谢俊峰 , 吕祥鸿 , 薛艳 , 钟强

机械工程材料 doi:10.11973/jxgccl201705003

通过C110钢的硫化物应力开裂试验和氢渗透试验,研究了外加电位对C110钢抗硫化物应力开裂及氢渗透行为的影响,并对其开裂机制进行了探讨.结果表明:当加载应力为C110钢屈服强度的85%、未外加电位时,C110钢通过了NACE TM 0177-2016标准A法检测,具有良好的抗硫化物应力开裂性能,而外加-100 mV和+100 mV电位(相对于开路电位)时,C110钢试样发生了断裂,硫化物应力开裂敏感性增强;外加阳极电位时,开裂机制与阳极溶解有关;外加阴极电位时,开裂机制与阴极析氢有关;随着外加阴极电位的增大,稳态氢渗透电流密度增大,次表面氢浓度增大,硫化物应力开裂的敏感性增强.

关键词: C110钢 , 硫化物应力开裂 , 氢渗透 , 外加电位

硫酸盐镀铜溶液中铜阳极性能研究

刘学雷 , 钟强 , 王为

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2001.04.012

采用电化学联机测试系统对酸性硫酸盐镀铜工艺中含磷质量分数不同的铜阳极的电化学行为进行了阳极极化曲线和循环伏安曲线的对比研究,结果表明在酸性硫酸盐镀铜溶液中低质量分数磷铜阳极要比高质量分数磷铜阳极和纯铜阳极允许使用的阳极电流密度高,产生的Cu+离子更少,效果更好。

关键词: 铜阳极 , 磷的质量分数 , 硫酸盐镀铜 , 极化曲线

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