钱开友
,
林仰魁
,
徐东
,
蔡炳初
,
孙卓
材料导报
场发射冷阴极材料作为真空微电子器件的核心部件,在真空微电子场发射的研究与应用中占有极其重要的地位.目前碳基材料金刚石、类金刚石和碳纳米管在场发射冷阴级的研究中居统治地位.阐述了以上3种材料的制备工艺,发射特性,提出了改进其发射性能的措施,并对它们目前存在的问题及其应用前景进行了展望.
关键词:
场发射冷阴极
,
金刚石
,
类金刚石
,
碳纳米管
钱开友
,
颜丙勇
,
王芸
,
叶枝灿
,
徐东
,
蔡炳初
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2006.01.009
采用Y2O3和Ni 作催化剂,在H2和He混合气体气氛下通过弧光放电法得到高纯度的单壁碳纳米管.在用热氧化提纯法对高纯度碳纳米管产物进行进一步提纯后,用这种碳纳米管粉末与酒精配制成悬浮液,通过旋涂、干燥、退火等工艺得到碳纳米管阴极薄膜.I-V测试表明用该法得到的碳纳米管薄膜具有良好的电子场致发射性能.
关键词:
旋涂法
,
弧光放电法
,
碳纳米管
,
场发射
