材料期刊网

1. 首页
2. 检索结果页

原词结果 | 译词结果

衬底温度对射频磁控溅射制备HfO2薄膜结构的影响

闫丹 , 吴平 , 邱宏 , 俞必强 , 赵云清 , 张师平 , 吕反修

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.05.011

采用射频磁控溅射法在氧氩比为0.2的混合气氛中,分别在室温、100℃、200℃、250℃、300℃、350℃和400℃温度下,在P-Si(100)衬底上制备了HfO2薄膜,并用SEM、XRD和AFM研究了衬底温度与薄膜沉积速率对微结构的影响.结果表明:随着衬底温度的增加,薄膜沉积速率呈减小趋势.室温沉积的HfO2薄膜为非晶态,当衬底温度高于100℃,薄膜出现单斜晶相,随着衬底温度继续增加,(111)择优取向更加明显,晶粒尺寸增大,薄膜表面粗糙度减小.

关键词: 射频磁控溅射 , HfO2薄膜 , 衬底温度 , 微观结构

模型参数对压力AGC品质影响分析

张文雪 , 张殿华 , 闫丹 , 孙杰 , 李旭

材料与冶金学报 doi:10.3969/j.issn.1671-6620.2009.03.013

根据压力AGC(Automatic Gauge Control)的控制原理,对BISRA式AGC和动态设定型AGC在阶跃轧制力扰动下调整过程进行了研究;分析了理想模型参数情况下各算法的收敛性和稳态误差;推导出压力AGC算法收敛的模型参数取值区间和模型参数取值对压力AGC控制算法的收敛速度和稳态误差的影响.

关键词: 压力AGC , 塑性系数 , 轧机刚度 , 收敛 , 厚度偏差

热连轧Q预测前馈AGC研究及应用

张殿华 , 张文雪 , 闫丹 , 李旭 , 杜德顺 , 张进

钢铁

针对造成热轧带钢产品厚度波动的主要因素,提出了将轧件塑性系数和入口厚度作为输入变量的前馈AGC控制算法.阐述了Q预测前馈AGC控制系统原理,带钢跟踪方案和塑性系数Q线性化预测算法.现场应用表明,Q预测前馈AGC对抑制热轧带钢厚度偏差具有显著的效果.

关键词: 前馈 , AGC , 辊缝补偿 , 塑性系数Q , 预测

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词