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纳米金属掩膜和离子辐照技术制备高温超导约瑟夫森结

阳运国 , 张鸣剑 , 潘军 , 伍展文 , 陈莺飞 , 徐小平 , 田海燕 , 李洁 , 崔大健 , 林德华 , 郑东宁

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2008.01.018

研究了一种利用纳米金属掩膜和离子辐照技术在高温超导YBCO薄膜上制备Josephson结的方法.首先用在YBCO薄膜甩上一层800nm左右的光刻胶(PMMA),继而在光刻胶上用直流磁控溅射的方法镀上一层大约300nm左右的Cr膜,利用紫外曝光和离子刻蚀的方法在YBCO薄膜上形成覆盖有Cr膜的微桥,然后,利用聚焦离子束系统(FIB)在微桥上刻出一个50nm左右的狭缝,最后利用120keV的H2+对狭缝内的材料进行辐照,从而使狭缝部分的材料超导电性减弱,形成类似SNS型的Josephson结.

关键词: 约瑟夫森结 , FIB , 离子辐照

2英寸双面TI2212高温超导薄膜的制备与研究

潘军 , 阳运国 , 陈莺飞 , 徐小平 , 田海燕 , 林德华 , 郑东宁

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2008.01.014

在c取向的LAO基片上,采用两步法制备TI2212高温超导薄膜.首先,利用PLD在基片上沉积无Tl前驱膜,然后前驱膜在流动Ar气氛中利用坩埚技术在720~740℃温度下用Tl2223铊源外延生长成2英寸双面TI2212高温超导薄膜.实验结果表明:2英寸双面TI2212薄膜具有良好的c轴取向,并有明显的层状生长结构,有少量杂相晶粒但无裂纹;两面薄膜表面均匀光亮且呈深褐色.用四引线法测量的最佳双面薄膜的超导零电阻温度分别为106.2K和108.5K;在77K温度下,超导临界电流扫描测量仪得到优质薄膜的临界电流密度在1.0×106 A/cm2到4.8×106 A/cm2范围内;薄膜的微波表面电阻由一个介质谐振器在77K温度和10GHz频率下测量薄膜中心部分的Q值得到,其值小于0.5mΩ.

关键词: TI2212薄膜 , PLD , FWHM

氢离子注入对La2/3Sr1/3MnO3薄膜性能影响的研究

伍展文 , 李洁 , 阳运国 , 黎松林 , 孙小松 , 郑东宁

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2008.01.003

利用脉冲激光沉积(PLD),制备了La2/3Sr1/3MnO3(LSMO)薄膜.然后在120 keV的能量下,进行了不同剂量(1.0×1012 ion/cm2~1.0×1017 ion/cm2)的H2+离子对LSMO薄膜的注入研究.随着注入剂量的增加,膜的电阻逐渐变大,其Tp转变温度往低温方向变化.当剂量大于等于3.0×1016 ion/cm2时,LSMO薄膜具有了类似半导体的导电行为.X射线衍射(XRD)分析发现:特征峰的位置随着剂量的增加而往低的角度偏移,并且当剂量增加到一定程度时,出现双峰现象.最后研究了LSMO薄膜其磁阻(MR)随温度和磁场的变化关系.

关键词: 离子注入 , 庞磁阻 , 脉冲激光沉积

微纳米加工技术对La213Ca1/3MnO3材料性能影响的研究

伍展文 , 李洁 , 阳运国 , 黎松林 , 郑东宁

低温物理学报

利用脉冲激光沉积(PLD)方法制备了La213Ca1/3MnO3(LCMO)外延薄膜.然后利用微纳米加工技术对LCMO薄膜材料进行了局部改造,制造出宽度仅为83纳米的弱联接结构,并对此进行了一系列的物性改变研究.发现在测量电流不变(1μA)的情况下,R~T曲线在120K附近有一个尖锐的跳变,跳变的温度区间很窄.此外,测量电流和外加磁场的增加,都能对跳变现象产生抑制作用.目前认为这种现象的产生是由于相分离的原因导致的.

关键词: 脉冲激光沉积 , 微纳米加工 , 相分离

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