郑萍
,
陆维
,
杜文娟
,
孟中岩
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.03.021
采用溶胶-凝胶法和快速热处理工艺,分别以不锈钢(SS)和镍合金(NC)为基片,成功制备了表面均匀、无裂纹的锆钛酸铅(Pb(Zn0.53Ti0.47)O3,简写为PZT)薄膜.为了缓解金属基片与PZT薄膜之间由于晶格常数和热膨胀系数不同所造成的不匹配状态,引入了镍酸镧(LaNiO3,简写为LNO)薄膜作为过渡层.XRD和SEM结果表明,经过600℃下30min的晶化,PZT薄膜已经由无定型转化为钙钛矿相.以LNO为过渡层,在NC金属基片上制备的PZT薄膜具有较高的介电常数和较低的损耗(1kHz下ε=717,tanδ=0.08),较低的漏电流(50kV/cm下J=2.6×10-7A/cm2)以及较好的铁电性能(+Pr=90μC/cm2,-Pr=14 μC/cm2,Ec=32.5kV/cm).同时,在SS基片上,通过引入LNO过渡层,制备的PZT薄膜也具有比较好的性能.
关键词:
PZT
,
LNO,sol-gel
,
金属基片
杜文娟
,
陆维
,
郑萍
,
孟中岩
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.03.003
采用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺分别在Pt/Ti/SiO2/Si和LNO/Si电极上制备Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)铁电薄膜.研究了不同电极材料对PZT铁电薄膜的微结构及电性能的影响.(100)择优取向的PZT/LNO薄膜的介电性能和铁电性能较(111)/(100)取向的PZT/Pt薄膜略有下降,但在抗疲劳特性和漏电流特性方面都有了很大提高.PZT/LNO薄膜1010次极化反转后剩余极化几乎保持未变,直至1012次反转后,剩余极化仅下降了17%.
关键词:
PZT薄膜
,
LNO电极
,
电性能
,
疲劳
,
Pt电极
陆维
,
郑萍
,
孟中岩
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.02.013
研究了镍酸镧(分子式LaNiO3,简称LNO)导电薄膜的制备,及其与性能之间的关系.实验结果表明热处理制度和热处理过程中通氧是LNO薄膜获得良好电性能的关键.实验发现LNO薄膜在退火温度550℃时就已经晶化,并且随着退火温度的升高,薄膜电性能也随之提高,但是当温度高于860℃后,LNO薄膜发生了结构相变并伴有NiO的析出,因此导致了薄膜电阻率的升高.较短的预处理时间和较长的退火处理时间有助于薄膜晶粒的长大,从而提高薄膜的电性能.同时也讨论了LNO薄膜电阻率和工作温度的关系.
关键词:
LaNiO3
,
热处理
,
薄膜
,
电阻率
