王大海
,
李轶华
,
孙艳
,
吴渊
,
陈国军
,
王国柱
,
荆海
,
万春明
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2002.01.011
对多晶硅薄膜晶体管器件工艺中的反应性离子刻蚀技术进行研究,给出了Ta、 p-Si等多晶硅薄膜晶体管器件中常见薄膜的刻蚀速率,通过工艺参数的优化,使薄膜间的选择比在2～20可选择;并通过气体掺杂,实现了SiNx对p-Si的选择比从-1到2的反转.
关键词:
多晶硅薄膜晶体管
,
反应性离子刻蚀
,
刻蚀速率
,
选择比
陈国军
,
张永杰
,
王恩刚
,
杨院生
金属功能材料
脉冲磁场能够有效细化金属凝固晶粒,正逐渐走向工业化应用阶段.针对高品质电工钢、铁素体不锈钢、高速钢以及镍基高温合金等四大类合金容易存在偏析、疏松等凝固问题,提出施加低频脉冲磁场于连铸工业生产过程.计算了低频脉冲磁场施加于连铸足辊段、二冷段和凝固末端,所需临界磁感应强度值分别为0.0845 T、0.122 T和0.182 T.随着低频脉冲磁场施加位置坯壳厚度增加,临界磁感应强度增加,同时调整占空比,可降低临界磁感应强度.
关键词:
脉冲磁场
,
工业化应用
,
临界磁感应强度
陈国军
,
张永杰
,
杨院生
,
赫冀成
金属功能材料
为了建立一个描述任意脉冲磁场下电磁力特性的数学模型,利用数学解析法推导建立任意波形周期脉冲电磁力的模型和理论解.利用此模型考察了三角脉冲磁场下电磁场和电磁力周期变化规律、脉冲频率、占空比和静磁场对电磁力的影响.结果表明:任意波形周期脉冲磁场可通过时谐场叠加得到,各个时谐场的频率为基频的整数倍.三角脉冲电磁力方向呈现交替变化,并且其电磁压力绝对值大于电磁拉力.在脉冲磁场某时间段内,介质内部同时存在电磁拉力和电磁压力.随着脉冲频率增大或占空比减小,电磁压力与电磁拉力都增大,但是电磁压力增幅远大于电磁拉力.随着静磁场感应强度增大,脉冲电磁力增大同时作用深度也增加.枝晶破碎是脉冲磁场细化晶粒组织的机理之一,枝晶在交替变化的脉冲电磁力作用下,可视作产生疲劳损伤,因此脉冲磁场电磁力特性能够增加枝晶破碎的几率.一方面可以通过设计调整脉冲频率、占空比和静磁场获得满足细化凝固晶粒组织所需电磁力;另一方面当脉冲电磁力足以使枝晶破碎时,降低脉冲频率或增大占空比,以便脉冲电磁力作用深度大,从而使凝固细化作用效果更佳.
关键词:
脉冲磁场
,
晶粒细化
,
数学解析法
李静
,
张漩
,
陈国军
玻璃钢/复合材料
在定湿度条件下对模拟壳体进行湿热加速老化试验及水压爆破试验,对各老化温度下的爆破压强-老化时间进行回归分析,得到各温度的老化方程及性能变化系数;对性能变化系数与老化温度进行回归分析,外推得到常温下的壳体性能变化系数,进而得到常温下的内压承载老化方程.通过相关指数判定,各回归曲线的关系显著.通过模拟壳体湿热加速老化试验后及自然存放模拟壳体的爆破压强数据对老化方程进行修正.研究表明,玻璃纤维模拟壳体爆破压强与时间成对数关系,全尺寸玻璃纤维壳体初始爆破压强为9.97MPa,预估存放20年后爆破压强下降9.5％.
关键词:
纤维壳体
,
寿命评估
,
方法研究
