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刘畅 , 杨立新 , 陈学良
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.02.012
通过混合集成型结构光学拾音器的光学设计和芯片设计,制作了包含微光学棱镜、光电探测器和信号放大电路的混合集成型光学拾音器.经过测试,发现有较好的信号输出特性,表明混合集成型光学拾音器已基本研制成功.
关键词: 混合集成型光学拾音器 , 微光学棱镜 , 光电探测器 , CMOS集成电路
刘畅 , 陈学良 , 严金龙
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.001
设计和制作了硅集成电感,采用常规的硅工艺,在衬底形成间隔的pn结隔离来减少硅衬底的涡流损耗.实验测量了硅集成电感的S参数并研究了衬底结隔离对硅集成电感的电感量和品质因素(Q)的影响.结果表明一定深度的衬底结隔离能有效地使电感Q值提高40%.
关键词: 集成电感 , Q值 , 涡流
