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TFT制程中高厚度ITO残留因素的研究

王灿 , 陈宁 , 刘英伟 , 赵磊 , 薛大鹏 , 杜建华 , 郭炜 , 王路

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20163103.0276

氧化铟锡(ITO)是薄膜晶体管工艺中最常用的透明导电薄膜,随着OLED技术的发展,ITO作为透明阳极材料也被广泛应用.在高厚度(尤其是大于70 nm)非晶ITO工艺过程中,由于多种因素的影响,很容易产生残留,发生残留后会严重影响产品质量和项目进度.本文通过多次实验测试,综合多种不同厚度,尤其是针对高厚度非晶ITO,分析了TFT制程中影响残留的多种因素,考察重点因素及影响规律,有效地修正工艺条件,为之后的项目和生产过程提供了很好的参考价值.

关键词: 薄膜晶体管 , 非晶氧化铟锡 , 残留 , 成膜 , 刻蚀

氧分压对铟镓锌氧薄膜晶体管性能影响

孙建明 , 周婷婷 , 任庆荣 , 胡合合 , 陈宁 , 宁策 , 王路 , 刘文渠 , 李东升

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20163106.0558

采用标准的液晶显示屏基板制备工艺制备出铟镓锌氧薄膜晶体管(IGZO-TFT),通过调节 IGZO 薄膜工艺中氧分压,研究不同氧分压对TFT器件电学性能的影响.实验结果表明,所有器件都展现出良好的电学特性,随着氧分压从10%增加到50%,TFT的阈值电压由0.5 V增加到2.2 V,而亚阈值摆幅没有发生变化.在栅极施加30 V偏压3600 s后,随着氧分压的增加,阈值电压向正向的漂移量由1 V增加到9 V.经过分析得出高氧分压的 IGZO-TFT器件中载流子浓度低,建立相同导电能力的沟道时所需要栅极电压会更大,阈值电压会增加.而在金属-绝缘层-半导体(MIS)结构中低载流子浓度会导致有源层能带弯曲的部分包含更多与电子陷阱相同的能态,栅介质层(GI)会俘获更多的电子,造成阈值电压漂移量较大的现象.

关键词: 铟镓锌氧薄膜晶体管 , 氧分压 , 阈值电压漂移 , 电子积累层

耐高温碳纤维复合芯基体树脂研究

刘辉 , 陈新 , 王英男 , 杨长龙 , 陈宁 , 兰逢涛 , 何州文

玻璃钢/复合材料

碳纤维复合芯导线的卷绕性能主要取决于所用树脂体系的韧性,本文对高温碳纤维复合芯导线所用树脂体系进行了研究.试验结果表明:4,4'-二氨基二苯甲烷环氧树脂可以满足碳纤维复合芯的耐高温要求;为了进一步提高碳纤维复合芯导线的安全可靠性,采用核壳结构聚合物对树脂体系进行增韧,使碳纤维复合芯的卷绕性能进一步提高.选用4,4'-二氨基二苯甲烷环氧树脂和甲基纳迪克酸酐为主体树脂,加入其他辅料和10份增韧剂所得到的配方,经过拉挤试验及综合性能测试结果表明,本实验采取的树脂配方可以满足拉挤工艺及碳纤维复合芯导线40D卷绕性能要求.

关键词: 输电线路 , 复合材料 , 增韧技术

前大油田腐蚀结垢的原因及对策

马青庄 , 温淑新 , 杨建平 , 孙海杰 , 辛爽 , 陈宁 , 祝英剑

腐蚀科学与防护技术 doi:10.3969/j.issn.1002-6495.2002.05.014

介绍了吉林油田前大地区的腐蚀及结垢现状,包括注水系统、联合站、污水站等处的腐蚀及结垢状况,针对这些状况分析了引起该地区的腐蚀及结垢的主要原因,提出了防制的对策.

关键词: 腐蚀 , 结垢 , 除垢 , 防腐 , 缓蚀剂

Zn助剂对铁基催化剂费托合成制低碳烯烃性能的影响

高新华 , 张建利 , 陈宁 , 马清祥 , 范素兵 , 赵天生 , 椿范立

催化学报 doi:10.1016/S1872-2067(15)61051-8|

低碳烯烃(C2=–C4=)是十分重要的基础化工原料,目前主要采用热裂解或催化裂解石脑油、蜡油等工艺路线生产。近年来,针对全球范围的石油危机及我国富煤贫油这一基本的国情,以煤、天然气(页岩气)和生物质等丰厚的碳资源,经合成气制取低碳烯烃的工艺路线备受关注。其中,合成气经由甲醇或二甲醚间接制取烯烃技术(MTO/MTP)已经工业化;与之相比,费托合成直接生产低碳烯烃(FTO)工艺流程短、投资和操作费用低,具有良好的工业发展前景。目前,费托合成催化剂活性组分的研究主要集中于Fe, Co, Ni和Ru等元素,其中Fe基催化剂具有较高低碳烯烃选择性、较低甲烷选择性和制造廉价等优势,更适合于FTO反应。最近,人们大多聚焦于对负载型铁基催化剂的研究,但传统非负载型铁催化剂由于其制备简单、价格低廉,仍然具有巨大的开发前景。近来,我们组报道了采用微波水热法制备的Zr助剂改性Fe-Zr催化剂应用于CO加氢研究,提高了催化剂的活性,与传统Mn改性铁基催化剂相比, CO2选择性明显降低。目前,已有研究小组对Zn助剂提高铁基催化剂烯烃选择性进行报道,但反应过程中的严重积碳问题却少有研究。我们在Fe-Zr催化剂的基础上,进一步研究了Zn助剂在提高铁基催化剂低碳烯烃选择性、改善产物分布和降低反应过程积碳方面的作用。
  我们分别采用微波水热法和浸渍法对铁基催化剂进行了Zn改性,并将其用于费托合成制取低碳烯烃反应。运用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、N2物理吸附(BET)、H2程序升温还原(H2-TPR)和X射线光电子能谱(XPS)技术手段对催化剂的物理和化学性质进行了表征。结果表明,两种方法改性后的铁基催化剂具有高低碳烯烃选择性和稳定性,重质烃(C5+)含量降低,且保持低CO2选择性。此外,采用两种方法Zn改性的铁基催化剂展现出了不同的特性。 XRD结果表明,反应前两种方法制备的样品α-Fe2O3物相晶粒大小均为15–18 nm,反应后浸渍法制备的样品对应物相(ZnFe2O4)晶粒大小约为25 nm、而微波水热法制备的样品约为20 nm,说明微波水热法改性的催化剂有效分散了Fe活性组分; H2-TPR结果显示,两种Zn助剂加入方法对催化剂Fe组分的还原行为有不同程度影响,体现了活性组分间不同的相互作用; XPS结果表明, Zn助剂改变了催化剂Fe活性位的化学性质,在微波水热法制得催化剂的表面Zn含量更低、分散度更高,而Zn助剂的加入对Zr组分没有明显影响。所有催化剂经200 h在线活性测试后,采用传统浸渍法制备的催化剂表面有大量积碳生成;而采用微波水热改性铁基催化剂积碳量明显减少,表现出更高的催化活性与稳定性。

关键词: Zn助剂 , 铁基催化剂 , 低碳烯烃 , 费托合成 , 微波水热法

热-电驱动喷射压缩复合制冷循环特性研究

王林 , 谈莹莹 , 梁坤峰 , 安方涛 , 陈宁

工程热物理学报

自复叠制冷循环具有获得制冷温度低优点,但其完全消耗的是高品位电能或机械能;喷射制冷具有利用低品位低温热源(60~100℃)制取冷量、且制冷温度较高时制冷效率高等优点,但难以获得较低制冷温度.因此,为了实现低品位热在低温冷冻领域高效利用并节省高品位电能,本文提出一种由低品位低温热源与电能联合驱动的混合工质喷射/压缩复合制冷循环.建立组成新循环各部件热力学数学模型,分析喷射器压缩比和压缩机压缩比对复合式制冷循环的热性能系数和机械性能系数影响,并与传统的自复叠制冷循环特性进行比较分析.研究表明,低品位热源与电能联合驱动喷射/压缩复合制冷循环较传统自复叠制冷循环可显著提高制冷效率并获得更低制冷温度.

关键词: 喷射制冷 , 自复叠制冷 , 复合制冷 , 压缩比 , 性能系数

Si在Al—0.35wt—%Si合金表面的非平衡偏聚

陈宁 , 余宗森

金属学报

金相、X射线电子能谱和显微硬度等实验表明,Si在Al-0.35wt-%Si合金氧化膜下的过饱和空位造成的空位坑中有Si的偏聚.这种偏聚只能用空位-Si原子复合体扩散导致的非平衡偏聚理论来解释。

关键词: 非平衡偏聚 , vacancy , Al-Si alloy , surface

聚合物基微纳米复合材料的制备及微型注塑加工研究

王琪 , 夏和生 , 陈英红 , 李莉 , 陈宁 , 费国霞

中国材料进展 doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2014.04.04

微型高分子功能器件具有独特优点,发展迅速,应用广泛,是当今科学技术的重要前沿,迫切需要发展高性能多功能聚合物基微纳米复合材料,实现其微型注塑加工.介绍了近年来作者课题组在聚合物基微纳米复合材料制备及其微型注塑加工方面的研究进展:通过有机/无机杂化、固相剪切碾磨、纳米复合、分子复合及熔融共混技术等制备适合于微成型加工的高性能多功能聚合物基微纳米复合材料,如尼龙11/钛酸钡压电复合材料、聚乙烯醇/羟基磷灰石生物医用纳米复合材料、聚氨酯/碳纳米管导电复合材料等.解决了微纳米填料难分散、复合体系难加工的难题,实现了聚合物基微纳米功能复合材料的微型注塑加工,研究了其流变行为和充填行为,调控和优化了微型制品的结构与性能,为制备高性能多功能的聚合物微型器件提供了新材料、新技术和新理论.

关键词: 聚合物基微纳米复合材料 , 制备 , 微型注塑加工 , 微型制品

固体中一种新发现的扩散机制──复合体扩散机制

余宗森 , 陈宁

金属学报

置换溶质原产可以以溶质原子-空位复合体形式扩散,这一扩散机制可以圆满的说明非平衡偏聚现象发生的规律,密排晶体中溶质原子的异常快速扩散现象,B在γ-Fe中快速扩散和晶界非平衡偏聚,溶质原子在Al表面空位坑中的聚集以及Si在Al晶界处析出等问题.

关键词: 扩散 , vacancy.solute atom , non-equilibrium segregation , null

碳纤维表面化学镀银工艺研究

侯伟 , 潘功配 , 关华 , 陈宁

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2007.12.015

为了制备新型无源干扰材料,并简化碳纤维表面化学镀银的工艺流程,以葡萄糖+酒石酸为还原剂,采用直接法对碳纤维表面进行了化学镀银.考察了碳纤维预处理及镀液配制工艺等因素对镀层质量的影响,采用SEM及X射线能谱分析仪分析了镀银碳纤维结构,并对镀银碳纤维的导电性能进行了测试.结果表明,采用该方法得到的镀银碳纤维具有均匀致密、结合强度高、体积电阻率小等特点.

关键词: 化学镀银 , 碳纤维 , 直接法 , 结构 , 性能

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