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蔡伟 , 王聪 , 方小红 , 陈小源 , 杨立友
机械工程材料 doi:10.11973/jxgccl201511002
根据化学气相沉积生长石墨烯薄膜转移过程中支撑物的不同，将转移方法分为聚合物支撑法、非聚合物支撑法以及无支撑法，重点对聚合物支撑法用支撑材料进行了分析，并对相关的转移技术进行较完整的总结，并指出了未来的研究方向。
关键词: 石墨烯 , 化学气相沉积 , 支撑材料 , 转移技术
张武康 , 陈小源 , 李东栋 , 方小红
功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.06.007
薄膜材料对微纳器件制造不可或缺,而其热导率直接限制微纳器件的散热性能,从而影响器件的可靠性.因此,研究薄膜热物理性质对于半导体器件的制造以及集成电路的设计极为重要.为此,对薄膜材料热导率测量方法进行了综述,并在分析薄膜微结构模型的基础上,对热导率测量方法进行了可行性分析,从而为薄膜材料热性能测量提供技术参考.
关键词: 薄膜 , 热导率 , 测量方法
