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LTPS工艺中光刻胶与膜层粘附力的研究

剧永波 , 陈建军 , 张宸铭 , 简月圆 , 熊正平 , 张龙泉 , 赵东升 , 罗少先 , 刘昊 , 孙宏伟 , 白贺鹏

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20173203.0190

本文对影响LTPS工艺中光刻胶和衬底间粘附力的4个因素进行了实验及理论分析.经实验发现:衬底的材质和粗糙度以及光刻胶中分子量的分布是影响光刻胶和衬底粘附力的最重要的两个因素.在改善粘附力方面HMDS对于电负性较强的金属衬底和光刻胶的粘附力有较好的改善效果,对于SiNX、A-Si及P-Si衬底改善效果明显,且无差异,对于ITO没有改善.光刻胶涂布后适当延长烘烤时间也可以有效改善光刻胶和衬底的粘附力.

关键词: 粘附力 , 光刻胶 , , , 氧化铟锡 , 多晶硅 , 非晶硅 , 氮化硅

用于SiC晶体生长的高纯原料的合成及性能研究

高攀 , 刘熙 , 严成锋 , 忻隽 , 陈建军 , 孔海宽 , 郑燕青 , 施尔畏

人工晶体学报

SiC原料的纯度、粒径和晶型直接影响生长单晶的结晶质量和电学性质,尤其是高纯半绝缘本征SiC晶体的制备需要使用高纯SiC原料.本文采用超高温真空烧结炉,选择Si粉和C粉作为反应物,通过XRD、SEM、激光粒度测试仪和GDMS等测试手段研究了合成温度、压强、时间及原料配比等工艺条件对SiC颗粒成核、生长、晶型、粒径及堆积密度等综合性能的影响.结果表明,自合成的SiC原料一致性好、颗粒度均匀、纯度达到或超过5N.最后,使用自合成原料进行晶体生长,进一步证实其完全满足高质量半绝缘SiC晶体的制备.

关键词: SiC晶体 , 原料 , 粒径 , 堆积密度

近化学计量比铌酸锂晶体组分过冷与临界生长速率研究

郑燕青 , 施尔畏 , 王绍华 , 陈辉 , 卢网平 , 孔海宽 , 陈建军 , 路治平

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.04.001

本文在用双坩埚提拉法生长近化学计量比LiNbO3晶体的过程中观察到了组分过冷的实验数据,同时根据Tiller-Chalmers稳定性判据公式半定量计算了近化学计量比LiNbO3晶体临界生长速率的理论值,得到一般电阻加热双坩埚提拉法生长近化学计量比LiNbO3晶体的临界生长速率为0.1mm/h数量级.通过临界生长速率解释了一系列晶体生长的实验结果.提出了一些工艺措施来避免组分过冷,根据这些工艺获得了无包裹体的近化学计量比LiNbO3晶体.

关键词: 双坩埚提拉法 , 近化学计量比 , 临界生长速率 , 组分过冷

基于PEG修饰的ZnO量子点光学特性研究

檀满林 , 王彦涛 , 张维丽 , 符冬菊 , 李冬霜 , 王晓伟 , 马清 , 陈建军 , 李廷凯

无机材料学报 doi:10.15541/jim20140080

采用溶胶-凝胶法制备了ZnO量子点,并采用有机高分子试剂PEG(聚乙二醇,Mw=2000)对其表面进行修饰.借助X射线衍射分析、傅立叶红外光谱、光致发光谱和透射显微镜等测试方法,研究了PEG表面修饰对ZnO量子点结构和光学性能的影响规律.研究表明,混合加入的PEG聚合物能够成功地包覆在ZnO量子点表面,但没有改变量子点的晶体结构,经PEG表面修饰后的ZnO量子点尺寸变小,稳定性增强,分散更均匀.同时经PEG修饰的ZnO量子点在400~500 nm波长区域缺陷态发射峰明显减弱,表明采用PEG来改善ZnO量子点表面缺陷结构具有良好效果.

关键词: ZnO量子点 , PEG , 表面修饰 , 发光性能

YVO4∶Eu3+@SiO2下转换发光特性及其太阳电池应用研究

檀满林 , 尚旭冉 , 马清 , 王晓伟 , 符冬菊 , 李冬霜 , 张维丽 , 陈建军 , 张化宇

无机材料学报 doi:10.15541/jim20160040

铕掺杂钒酸钇(YVO4∶ Eu3+)作为常用的下转换发光材料一直受到广泛的关注和研究,但是YVO4∶ Eui3+的表面缺陷会严重影响材料的发光效率.为了进一步改善YVO4∶ Eu3+纳米粉体材料的粒度分布和形貌特点,在亚微米级别的SiO2微球表面涂覆一层YVO4∶ Eu3+,制成YVO4∶Eu3+@SiO2核-壳结构,得到单分散的球形YVO4∶ Eu3+下转换发光材料,实现YVO4∶ Eu3+的发光性能和SiO2球形特性的有机结合.研究发现,当壳核比为0.6时,YVO4∶Eu3+@SiO2核-壳结构材料的发光强度可达到纯纳米粉体材料发光强度的90%以上.将改性后的YVO4∶Eu3+@SiO2核-壳结构材料涂覆在硅基薄膜太阳电池上,可使电池的短路电流密度和转化效率分别由6.694 mA/cm2和9.40%提升至8.417 mA/cm2和10.15%,增益效果较为明显.实验结果表明,采用溶液法制备的YVO4∶Eu3+@SiO2纳米粉体材料由于具有形貌规则、团聚小和尺寸分布均匀等特点,可用作硅基薄膜太阳电池下转换发光层材料.

关键词: 钒酸钇 , 核-壳结构 , 太阳电池 , 下转换

疏水耐环境型SiO2/TiO2/SiO2-TiO2太阳能宽光谱增透膜的制备及性能研究

檀满林 , 张礼杰 , 王晓伟 , 马清 , 符冬菊 , 张维丽 , 李冬霜 , 陈建军 , 张化宇

无机材料学报 doi:10.15541/jim20150264

利用TFCcal设计软件构建膜系结构,采用溶胶-凝胶工艺和提拉法在超白玻璃上制备出厚度精确可控的宽光谱、高增透型SiO2/TiO2/SiO2-TiO2减反膜,同时结合甲基三乙氧基硅烷(MTES)改性碱催化的SiO2溶胶,通过提拉法一次制备出高透过率疏水型薄膜.研究表明,高增透型三层宽光谱减反膜的理论膜层厚度依次为:80.9 nm(内层SiO2-TiO2)、125.0 nm(中间层TiO2)、95.5 nm(外层SiO2),其在400~700 nm可见光范围内平均透过率实际可高达97.03%以上.多层膜经过退火处理后,膜面的水接触角高达131.5°,同时陈化两个月以后的多层膜透过率仅下降0.143%,表明制备的SiO2/TiO2/SiO2-TiO2多层减反膜具有优良的疏水和耐环境性能.

关键词: 增透膜 , 疏水型 , 耐环境 , 宽光谱

银纳米相吸收增强型钙钛矿太阳电池薄膜的制备及性能研究

檀满林 , 马东超 , 符冬菊 , 马清 , 李冬霜 , 王晓伟 , 张维丽 , 陈建军 , 张化宇

无机材料学报 doi:10.15541/jim20160041

分别将银纳米相溶胶(银纳米颗粒、Ag@SiO2核壳结构、银纳米线)掺入氧化铝异丙醇溶液中制成具有蜂窝结构的介孔层材料,然后在介孔层表面制备CH3NH3PbI3钙钛矿吸收层得到Al2O3/CH3NH3PbI3复合薄膜,并对复合膜的微观结构、光吸收特性及太阳电池器件性能进行了测试和分析.研究表明,Al2O3/CH3NH3PbI3复合膜与CH3NH3PbI3在可见光区域吸收光谱基本相同,含量极少的Al2O3对CH3NH3PbI3吸光性能影响较小.而掺入银纳米相可明显改善CH3NH3PbI3钙钛矿薄膜的吸收性能.当银纳米颗粒、Ag@SiO2核壳结构和银纳米线相对浓度比分别为0.15、0.3及0.15时,CH3NH3PbI3吸光性能分别达到最佳;银纳米相浓度继续增大时,薄膜的光吸收性能逐渐减弱.此外,掺入Ag@SiO2核壳结构可使钙钛矿薄膜太阳电池光电转换效率由6.28%增大到7.09%,而银纳米颗粒和银纳米线由于会增大太阳电池内部载流子传输路径,提高电子空穴对复合效率,最终反而降低了太阳电池短路电流密度和光电转换效率.

关键词: 银纳米相 , 钙钛矿 , 太阳电池 , 吸收性能

升温程序对6H-SiC晶体生长初期籽晶石墨化的影响

刘熙 , 高攀 , 严成锋 , 孔海宽 , 忻隽 , 陈建军 , 施尔畏

人工晶体学报

本文利用有限元方法模拟不同升温程序对籽晶石墨化的影响,计算表明籽晶表面石墨化层厚度是由“倒温度差”区间的温度、持续时间和“倒温度差”绝对值综合决定.在升温程序初期可以采用较小功率阶梯加热,迅速升温节约时间;中期可以采用从现有功率线性加热至额定功率,这样使得籽晶原料“倒温度差”区间内温度值变小且减缓反应;同时还使“倒温度差”绝对值减小,抑制籽晶和原料间的输运.同时籽晶石墨化实验通过元素线扫描测量出石墨层厚度,也证实了理论计算的结果.

关键词: 碳化硅 , 生长速率 , 有限元

碳对稀土重轨钢组织和性能的影响

刘承军 , 刘宏亮 , 黄桂斌 , 王云盛 , 陈建军 , 李春龙 , 姜茂发

稀土 doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2008.01.024

通过真空感应炉模拟实验,结合金相分析和性能测定.研究碳对于稀土重轨钢微观组织、冲击韧性和强度等的影响作用.研究表明,随着碳含量的增加,稀土重轨钢的奥氏体晶粒尺寸和珠光体片层间距逐渐增大,屈服强度和抗拉强度逐渐增大,冲击韧性则逐渐减小.在本实验条件下,将稀土重轨钢的碳含量控制在0.600%~0.650%之间,对于强度的损失并不大,但对于改善冲击韧性具有显著效果.

关键词: 稀土 , 重轨钢 , 冲击韧性 , 强度 , 组织

304L不锈钢在硼酸水溶液中的腐蚀行为

张微啸 , 李成涛 , 陈建军 , 赵彦芬 , 徐为民 , 沈剑 , 费克勋

腐蚀与防护

采用动电位极化曲线、电化学阻抗谱、扫描电镜和能谱分析方法研究了304L不锈钢在硼酸水溶液中的腐蚀行为.结果表明,304L不锈钢的自腐蚀电位和腐蚀电流密度随着硼酸水溶液温度的升高而增大;不同温度下的电化学阻抗谱呈单容抗弧,表现为一个时间常数,80 C硼酸水溶液中的阻抗模值较小;随时间的延长,304L不锈钢的均匀腐蚀速率逐渐降低,并且维持在较低的腐蚀速率.

关键词: 304L不锈钢 , 极化曲线 , 电化学阻抗谱 , 腐蚀速率

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