季振国
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冯丹丹
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席俊华
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毛启楠
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袁苑
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郝芳
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陈敏梅
材料科学与工程学报
结合紫外-可见光谱和高分辨XRD两种测试方法,无损、可靠地确定了AlGaN/GaN HEMT结构内各层的厚度、成分、应力等参数,解决了高分辨XRD无法同时确定成分与应力的难题.这两种方法的好处是样品不需经过特殊的处理,也不需进行切割、减薄等工艺,具有快速、无损、准确的特点,可以作为AlGaN/GaN HEMT器件的筛选工具,提高器件的成品率、降低生产成本.
关键词:
X射线衍射
,
紫外-可见反射
,
无损检测
季振国
,
陈敏梅
,
张品
,
周强
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00361
利用直流反应磁控溅射在柔性衬底(聚乙烯对苯二酸脂, PET)上低温沉积了对可见光透明的低电阻率的ZnxCd1-xO薄膜, 并研究了Zn含量x对ZnxCd1-xO薄膜的结晶性能、电学性能及光学性能的影响. XRD分析结果表明, 当x<0.65时, 薄膜为CdO结构, 但x>0.65时, 薄膜为高度取向的ZnO结构. Hall效应测试显示, 当x≤0.5时, 薄膜的载流子浓度很高, 电阻率为10-3 Ω·cm的数量级; 迁移率随x增加先增大, 在x=0.5处达到极大值, 然后随x的增加而降低. 紫外可见透射谱表明, 掺Zn后的ZnxCd1-xO薄膜在整个可见光波段内的透过率远远高于纯CdO薄膜的透过率. 综合分析结果表明, x=0.5是低温制备的低阻、高透光性能薄膜的最佳Zn含量.
关键词:
直流磁控溅射
,
flexible substrate
,
ZnCdO films
,
transparent conductive films
季振国
,
陈敏梅
,
张品
,
周强
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.02.032
利用直流反应磁控溅射在柔性衬底(聚乙烯对苯二酸脂,PET)上低温沉积了对可见光透明的低电阻率的ZnxCd1-xO薄膜,并研究了Zn含量x对ZnxCd1-xO薄膜的结晶性能、电学性能及光学性能的影响.XRD分析结果表明,当x<0.65时,薄膜为CdO结构,但x>0.65时,薄膜为高度取向的ZnO结构.Hall效应测试显示,当x≤0.5时,薄膜的载流子浓度很高,电阻率为10-3Ω·cm的数量级;迁移率随x增加先增大.在x=0.5处达到极大值,然后随x的增加而降低.紫外可见透射谱表明,掺zn后的ZnxCd1-xO薄膜在整个可见光波段内的透过率远远高于纯CdO薄膜的透过率.综合分析结果表明,x=0.5是低温制备的低阻、高透光性能薄膜的最佳Zn含量.
关键词:
直流磁控溅射
,
柔性衬底
,
ZnCdO薄膜
,
透明导电膜
