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用快速光热退火制备多晶硅薄膜的研究

张宇翔 , 王海燕 , 陈永生 , 杨仕娥 , 郜小勇 , 卢景霄 , 冯团辉 , 李瑞 , 郭敏

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.031

用等离子体增强型化学气相沉积先得到非晶硅(a-Si:H)薄膜,再用卤钨灯照射的方法对其进行快速光热退火(RPTA),得到了多晶硅薄膜.然后,进行XRD衍射谱、暗电导率和拉曼光谱等的测量.结果发现,a-Si:H薄膜在RPTA退火中,退火温度在750℃以上,晶化时间需要2min,退火温度在650℃以下,晶化时间则需要2.5h;晶化后,晶粒的优先取向是(111)晶向;退火温度850℃时,得到的晶粒最大,暗电导率也最大;退火温度越高,晶化程度越好;退火时间越长,晶粒尺寸越大;光子激励在RPTA退火中起着重要作用.

关键词: 多晶硅薄膜 , 快速光热退火 , 固相晶化

Yb~(3+)、Ho~(3+)掺杂浓度及晶粒尺寸对NaYF_4∶Yb~(3+),Ho~(3+)上转换材料发光的影响

郝秀利 , 陈永生 , 陈喜平 , 周建朋 , 王洪洪 , 卢景霄 , 杨仕娥

功能材料

EDTA作为络合剂,在pH值为5的条件下,采用水热法制备了NaYF4∶Yb3+,Ho3+微米棱柱上转换材料,研究了掺杂浓度和晶粒尺寸对上转换发光特性的影响。实验发现材料发光主要以绿光为主,最佳的Yb3+、Ho3+掺杂浓度分别为25%和1%,高于此值均会出现浓度猝灭效应。通过改变溶液中NaF/NH4HF2摩尔比来调控晶粒的尺寸,发现随着晶体颗粒尺寸的增大,材料中Yb3+浓度增加,从而使上转换发光增强。

关键词: 上转换材料 , 氟化钇钠 , 水热法 , 发光强度

等离子体增强CVD法沉积的微晶硅薄膜的微结构研究

陈永生 , 杨仕娥 , 卢景霄 , 郜小勇 , 张宇翔 , 王海燕 , 李瑞

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.04.039

本文系统研究了PECVD法沉积μc-Si薄膜中衬低温度、氢气稀释率和射频功率等参数对μc-Si薄膜结构特性的影响.表明:随着衬低温度的增加、氢气稀释率的增大、射频功率的提高,薄膜的晶化率增大.沉积薄膜的晶化率最大可达80%,表面粗糙度大约为30nm.通过对反应过程中的能量变化进行了分析,得到反应为放热反应,且非晶结构对沉积参数比较敏感.

关键词: 微晶硅薄膜 , 晶化率 , 等离子体增强化学气相沉积

掺铝氧化锌薄膜表面织构机制的研究

郜小勇 , 林清耿 , 冯红亮 , 陈永生 , 杨仕娥 , 谷锦华 , 卢景霄

功能材料

采用氯化铵(NH4Cl)溶液对磁控溅射技术制备的掺铝氧化锌(AZO)薄膜进行表面织构,并对其表面织构机制进行研究.研究结果表明NH4Cl溶液优先与间隙锌、间隙铝等缺陷和晶界处的堆积铝反应,而较大的相对应力和稀疏表面有助于间隙锌、间隙铝等缺陷和堆积铝的形成.它们对NH4Cl对AZO薄膜的表面织构很关键.

关键词: 氯化铵 , 掺铝氧化锌薄膜 , 表面织构

非晶硅薄膜的快速热退火机理研究

陈永生 , 卢景霄 , 张宇翔 , 王生钊 , 杨仕娥 , 郜小勇 , 李秀瑞

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.05.047

采用RTA方法对PECVD沉积的a-Si:H薄膜进行固相晶化是近年来发展起来的一种制备多晶硅薄膜的新方法.通过研究不同退火工艺条件对薄膜结构的影响,来揭示快速热退火机理.研究表明短波长光(≤730nm)的量子效应在晶化过程中可能起着至关重要的作用.

关键词: 多晶硅薄膜 , 快速热退火 , 固相晶化

氩气对多晶硅刻蚀的影响

陈永生 , 汪建华

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2003.02.006

报道了用CF4和氩气Ar作为工作气体的ECR反应离子刻蚀多晶硅(poly-Si)技术.研究了Ar气含量的变化对刻蚀速率和各向异性的影响,并对实验结果进行了分析.实验中气压为0.5Pa,混合气体中流量保持50sccm(1cm3/min standard cubic centimeter/minute),Ar气含量在0~50%范围内变化,对应的刻蚀速率在46~10sccm范围内.

关键词: 电子回旋共振 , 多晶硅 , 刻蚀

氧化锌微米棱棒的水热法制备和稀土掺杂

王洪洪 , 陈永生 , 周建朋 , 何伟 , 卢景霄

人工晶体学报

本文采用水热法,通过改变溶剂制备了不同形貌的氧化锌微米棱棒,并尝试对其进行稀土Er3+的掺杂.通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、荧光光谱(PL)及分光光度计对所得产物的组成、形貌、发光性能和光学特性进行了研究.实验表明:醇-水的环境有利于得到形态均匀的微米棱棒,醇水比例为1∶2.5,激子辐射复合发光与缺陷发光的比例最高,缺陷浓度最低,晶体质量最高.随着Er3+掺杂浓度的增加吸收强度增强,Er3+掺杂浓度达4mol%时吸收度不再变化.

关键词: 水热法 , 氧化锌 , 光学性能

上转换太阳电池的数值模拟

周建朋 , 陈永生 , 卢景霄 , 孟晓波 , 李艳阳 , 王洪洪

人工晶体学报

采用细致平衡原理,将太阳,环境作为辐射体,只考虑电池辐射复合,建立了太阳电池的模型.通过模拟,得出单结太阳电池的极限效率为31%,当使用上转换器时,单结电池的极限效率增至47.3%;对于双结电池,当顶电池带隙宽度为1.7 eV,底电池带隙宽度从1.1 eV变化到1.5eV,模拟的最大效率为39.9%,有上转换器最大时效率提高到了47.4%.

关键词: 太阳电池 , 上转换 , 极限效率 , 基尔霍夫定律

数值模拟p/i界面对微晶硅薄膜太阳电池性能的影响

苗丽燕 , 杨仕娥 , 李艳阳 , 陈永生 , 谷锦华 , 卢景霄

人工晶体学报

采用美国宾州大学开发的AMPS(Analysis of Microelectronic and Photonic Structures)软件模拟了p/i界面缺陷态密度(Npt/i)和非晶孵化层厚度(d)对pin型氢化微晶硅(μc-Si:H)薄膜太阳电池性能的影响.结果表明:随着Npt/i的增大,电池的开路电压Voc和填充因子FF单调减小,短路电流Jsc基本不变;随着d的增大,Jsc和FF单调减小,Voc反而增大;Npt/i和d值的增大均会导致电池光电转换效率η下降.通过对电池内部的电场及能带的分析,对上述模拟结果进行了解释.

关键词: 微晶硅薄膜电池 , p/i界面 , 光电转换效率

对柱状多晶硅薄膜的制备研究

张丽伟 , 赵新蕖 , 卢景霄 , 郜小勇 , 陈永生 , 靳瑞敏

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.05.052

在多晶硅薄膜(Poly-Si)生长理论的基础上,用等离子体化学气相沉积(RF-PECVD)系统,配合快速光热退火装置(RTP),在玻璃衬底和石英衬底上制备了柱状结构的多晶硅薄膜.借助于扫描电子显微镜(SEM)等测试手段,对薄膜的表面形貌和断面形貌进行了分析.结果发现:(1)柱晶的形成对薄膜的厚度有一定要求,而且薄膜越厚,柱晶直径越容易长得更大.本实验中,薄膜厚度达到2.5μm左右时,柱晶直径达到了1.5μm以上;(2)再结晶过程是从靠近光源的薄膜表面开始进而到薄膜内部的.再次说明RTP中再结晶的发生,与光和物质的相互作用密切相关.

关键词: SEM , RTP , 柱晶 , 多晶硅薄膜

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