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激光晶化非晶硅薄膜的表面机理研究

陈盛 , 史伟民 , 金晶 , 秦娟 , 王漪 , 夏义本

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.06.009

采用PECVD工艺在普通玻璃衬底上制备非晶硅薄膜,用波长为532nm的倍频Nd:YAG激光对非晶硅薄膜的表层进行了晶化.研究了激光能量密度对非晶硅薄膜表面结晶度以及晶粒大小的影响,并对晶化后的非晶硅表面形貌进行了表征.研究结果表明:该非晶硅薄膜晶化的阈值能量密度为800 mJ/cm2,当激光能量密度大于该值时,晶化效果反而变差.同时经过拉曼光谱表征,经由高斯拟合和数值计算得出薄膜结晶度在45%~60%之间,平均晶粒尺寸在30~50nm.

关键词: 等离子体化学气相沉积 , 激光晶化 , 纳米硅

碳基无金属氧还原电催化剂研究的新进展

杨立军 , 赵宇 , 陈盛 , 吴强 , 王喜章 , 胡征

催化学报 doi:10.1016/S1872-2067(12)60713-X

以替代铂为目标的高性能廉价氧还原电催化剂的研究为当今科学前沿.近年来人们发现,掺杂的碳基纳米结构具有催化活性高、稳定性好、资源丰富、抗CO和抗甲醇能力强等优点,是一种新型无金属氧还原电催化剂,具有替代铂基催化剂的潜力.本文结合作者课题组的最新研究成果,简要综述了碳基无金属氧还原电催化剂研究的主要进展,重点关注了富电子氮和缺电子硼单/共掺杂的碳纳米结构的氧还原催化性能及其与电子结构的关系,展望了碳基无金属氧还原催化剂的发展策略与前景.

关键词: 氧还原反应 , 无金属电催化剂 , 碳基纳米结构 , 掺杂

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