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低限流下含Ag电极的BiFeO3薄膜的阻变开关特性

闫小兵 , 李玉成 , 闫铭 , 杨涛 , 贾信磊 , 陈英方 , 赵建辉 , 李岩 , 娄建忠

人工晶体学报

采用磁控溅射系统在Pt衬底上构建了Ag/BiFeO3 (BFO)/Pt三明治结构的阻变存储器件单元,该器件可以在较低的限制电流下实现阻变行为并显著降低功耗.在0.5 μA的低限制电流下,器件具较好双极I-V滞回曲线,开关电阻比值超过1个数量级,有效开关次数达500次以上,阻态保持时间超过1.8 ×104 s,有较好的保持特性.分析了该Ag/BFO/Pt器件的阻变开关机制,主要归因于Ag原子在BFO薄膜内的氧化还原反应引起的金属导电细丝的形成与断开.

关键词: 阻变存储器 , 低限制电流 , 开关机制 , 导电细丝

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