杨焰
,
李德良
,
陈茜文
,
罗洁
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2009.03.020
为研究过硫酸盐/硫酸体系微蚀的最佳工艺条件,通过静态腐蚀速率测定法,对该体系的微蚀液组成和操作温度等微蚀条件进行了研究,实验结果表明最佳的微蚀条件为:温度26～32%,铜离子质量浓度9～15g/L,过硫酸钠质量浓度75～125g/L,硫酸的体积分数为2%～4%,该条件下微蚀速率为0.5μm/min,过程稳定可控.
关键词:
微蚀
,
过硫酸盐
,
硫酸
,
腐蚀速率
