王坚
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吴杏芳
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陈训平
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蔡军
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柳百新
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方正知
金属学报
将50keV碳离子注入纯Co金属膜中,在剂量为2.5×10~(17)/cm~2时,发现了六方结构碳化物。电子衍射结果表明晶格常数a=0.2685nm,c=0.4335nm。当剂量提高到5×10~(17)/cm~2时,六方衍射环仍然存在。而剂量提高到9×10~(17)/cm~2时,衍射环变成具有非晶特征的漫散晕。Auger谱数据表明,形成的六方相成份范围为Co_2-_3C。本文从固体Fermi能来解释Fe,Co和Ni的六方碳化物形成的变化;从能带理论解释热处理方法形成正交Co碳化物的原因。
关键词:
离子注入
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Co carbide;Fermi energy
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band theory
