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本底真空度对磁控溅射Cr/C镀层微观形貌及结合强度的影响

李洪涛 , 蒋百灵 , 陈迪春 , 曹政 , 蔡敏利 , 苗启林

功能材料

采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术于不同本底真空度下制备了Cr/C镀层.利用TEM、划痕仪分析了不同真空度下镀层微观截面形貌与结合强度的变化.结果表明,随本底真空度的降低,Cr/C镀层中物理混合界面层和Cr金属打底层的厚度显著减小;镀层结合强度随本底真空度的降低显著下降,物理混合界面层、Cr金属打底层厚度的减小以及镀层表面孔洞等缺陷增多、致密度变差等共同导致了其结合强度的下降.

关键词: 本底真空度 , 物理混合界面层 , Cr金属打底层 , 结合强度

以W为中间层的C/W多层膜的微观结构及性能研究

陈迪春 , 蒋百灵 , 时惠英 , 付杨洪

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2011.04.007

利用非平衡磁控溅射技术在钢基体上制备以W为中间层的C/W多层膜,使用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和透射电子显微镜(TEM)对镀层的表面形貌,相组成及截面微观结构进行分析;测试镀层的膜基结合强度和摩擦性能.结果表明:C/W多层膜是由非晶碳和WC纳米晶组成的复合镀层,具有明显的层状结构,周期厚度为6.5nm;镀层具有良好的减摩性能,摩擦因数随偏压的增大而降低,-90V偏压条件下沉积的镀层具有最低的摩擦因数(0.14);镀层的膜基结合强度较差,W中间层的厚度为500nm,W中间层中存在较高的压应力,没有起到强化膜基结合强度的作用.

关键词: 磁控溅射 , C/W多层膜 , 微观结构 , 结合强度 , 摩擦性能

使用梯度过渡层的掺Cr碳膜的显微组织特征

张永宏 , 蒋百灵 , 陈迪春 , 严少平

材料科学与工艺

为了探究C、Cr两种主要成膜元素在非晶碳膜中的存在和分布状态,采用非平衡磁控溅射离子镀技术制备出了具有梯度过渡层的掺Cr碳膜,利用高分辨透射电子显微术(HRTEM)分析了薄膜的显微组织.结果表明,沉积在硅晶片上的纯Cr底层具有典型的柱状晶结构,其上的梯度过渡层则由各种形态的Cr纳米晶和富碳非晶基质构成.沿薄膜生长方向,随着Cr含量逐渐降低,过渡层中的Cr纳米晶依次形成层片晶、岛状晶和微晶.掺Cr碳膜的工作层则是一种非晶的纳米多层膜.膜中的C始终以非晶态存在,所观察到的结晶相均属金属Cr,同时纯Cr层柱状晶和过渡层中的各种Cr纳米晶都不同程度地具有(110)晶面的择优取向.

关键词: 非晶碳膜 , 梯度过渡层 , 显微组织 , 择优取向

Mo-Si合金室温及高温拉伸力学性能研究

林小辉 , 张国君 , 张纳纳 , 陈迪春 , 严富学

稀有金属材料与工程

采用粉末冶金技术制备了不同Si含量(0,0.1,0.3 wt%Si)的Mo-Si合金板材,并在25,300,800和1200℃下进行了静拉伸试验,研究了试验温度对Mo-Si合金板材力学性能、断裂方式及微观组织的影响.结果表明:随试验温度升高,纯钼及Mo-Si合金板材强度明显下降,但延伸率以300℃为分界点呈现出先升后降的趋势.室温下Mo-Si合金的断裂方式为穿晶解理断裂,在300及800℃时主要为韧窝延性断裂,而1200℃时为沿晶断裂.对Mo-Si合金强化机制的分析表明,室温下的强化主要来源于弥散强化和固溶强化,而在高温时,固溶作用明显减弱,颗粒弥散和粗化晶粒为主要的强化手段.

关键词: Mo-Si合金 , 高温拉伸 , 断口形貌 , 强化机制

镁合金表面磁控溅射CrAlTiN镀层的制备技术研究

陈迪春 , 蒋百灵 , 吴文文 , 李洪涛

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2008.02.003

使用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术,通过改变偏压在镁合金表面制备了CrAlTiN镀层,对镀层厚度、硬度、结合力和耐磨性进行了检测,使用SEM和XRD分析了镀层的形貌和相组成,结果表明:通过改变偏压可以在镁合金表面沉积一层具有一定耐磨性能的CrAlTiN镀层;偏压对镁基CrAlTiN镀层的结合力和耐磨性影响很大,在偏压为35V时具有最好的结合力和耐磨性能,随着偏压的增大,镀层硬度提高,致密性增强,厚度降低;镁基CrAlTiN镀层为柱状晶组织,具有面心立方结构,点阵类型与面心立方CrN相同.

关键词: 镁合金 , 磁控溅射 , 偏压 , CrAlTiN镀层

打底层对铝合金表面GLC镀层组织和摩擦学特性的影响

时惠英 , 龙艳妮 , 蒋百灵 , 陈迪春

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2011.00748

采用非平衡磁控溅射离子镀技术在铝合金表面分别制备了以Cr和Al为打底层,Cr-C和Al-Cr-C为过渡层的Cr/Cr-C/类石墨碳(GLC)和Al/Al-Cr-C/GLC复合镀层,并与无打底层制备GLC镀层对比,系统研究了不同镀层微观结构、膜基结合力及摩擦学性能.结果表明,铝合金基体表面Cr打底层呈柱状晶生长,Cr/C过渡层无柱状晶特征,且随过渡层增厚,富Cr区域减少,实现了成分的梯度变化;A1打底层与铝合金基体间为一个整体,没有明显界面;Al-Cr-C过渡层的成分也呈梯度变化;采用不同打底层和过渡层时,GLC层均为非晶态结构,较无打底层制备GLC镀层,Cr/Cr-C/GLC和Al/Al-Cr-C/GLC复合镀层与铝合金基底间的膜基结合力显著增强,以Al为打底层的复合镀层的失效临界载荷最大.磨损实验中,在不同载荷条件下2种复合镀层均具有低的摩擦系数.

关键词: 非平衡磁控溅射离子镀 , GLC镀层 , 微观结构 , 结合力 , 摩擦学性能

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