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纳米厚度氮化硼薄膜的场发射特性

顾广瑞 , 李英爱 , 陶艳春 , 何志 , 殷红 , 李卫青 , 赵永年

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2003.01.003

利用射频磁控溅射方法,在n型(100)Si基底上沉积了不同厚度(54~135nm)的纳米氮化硼(BN)薄膜.红外光谱分析表明,BN薄膜结构为六角BN(h-BN)相(1 380cm-1和780cm-1).在超高真空系统中测量了不同膜厚BN薄膜的场发射特性,发现BN薄膜的场发射特性与膜厚关系很大,阈值电场随着厚度的增加而增大.由于BN薄膜和Si基底界面间存在功函数差,使得Si基底中电子转移到BN薄膜的导带,在外电场作用下隧穿BN表面势垒,发射到真空.

关键词: 纳米氮化硼薄膜 , 场发射 , 厚度 , 功函数

磁控溅射制备纳米TiO2薄膜导电性的研究

顾广瑞 , 李英爱 , 陶艳春 , 何志 , 赵永年

无机材料学报

研究了在纳米厚度范围内,TiO2薄膜的导电性与薄膜厚度和基底材料的关系.利用射频磁控溅射方法,使用高纯Ti(99.99%)靶,通入Ar和O2的混合气体,制备了TiO2薄膜,薄膜膜厚15~225nm.在室温下测量了不同厚度TiO2薄膜的电阻率,发现TiO2薄膜的导电性,先后在导体、半导体和绝缘体范围变化.这归因于基底材料与TiO2的功函数不同,导致了界面电子的转移,功函数差决定了电子转移的深度.

关键词: TiO2薄膜 , conductivity , resistivity , transfer of electrons

利用多孔树脂制备碳掺杂纳米TiO2及其优异的光催化性能

和东亮 , 孟祥举 , 陶艳春 , 张琳 , 肖丰收

催化学报

采用多孔树脂和钛酸四丁酯为起始物制备出碳掺杂的纳米TiO2 (RN700A550). 该材料的SEM和比表面积测定表明, RN700A550 具有与P25类似的高分散性,这归于多孔树脂的存在强烈限制了纳米粒子的团聚. 另外,多孔树脂的使用还造成了样品的碳掺杂(大约1.0%). 罗丹明B的光降解实验表明, RN700A550 不仅在可见光而且在紫外光激发条件下都显示了比P25更高的光催化活性.

关键词: 二氧化钛 , 多孔树脂 , 碳掺杂 , 光降解 , 可见光 , 紫外光

磁控溅射制备纳米TiO2薄膜导电性的研究

顾广瑞 , 李英爱 , 陶艳春 , 何志 , 赵永年

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2003.06.040

研究了在纳米厚度范围内,TiO2薄膜的导电性与薄膜厚度和基底材料的关系.利用射频磁控溅射方法,使用高纯Ti(99.99%)靶,通入Ar和O2的混合气体,制备了TiO2薄膜,薄膜膜厚15~225nm在室温下测量了不同厚度TiO2薄膜的电阻率,发现TiO2薄膜的导电性,先后在导体、半导体和绝缘体范围变化.这归因于基底材料与TiO2的功函数不同,导致了界面电子的转移,功函数差决定了电子转移的深度.

关键词: TiO2薄膜 , 导电性 , 电阻率 , 界面电子转移

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