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两步法溅射中缓冲层厚度对Ge薄膜质量的影响

关中杰 , 靳映霞 , 王茺 , 叶小松 , 李亮 , 杨宇

人工晶体学报

采用低温缓冲层技术制备Ge薄膜,利用AFM和Raman光谱研究缓冲层厚度对低温Ge缓冲层残余应变弛豫的影响.实验结果显示:随着缓冲层厚度的增加,残余应变弛豫度增大.在30 nm厚的低温Ge缓冲层上生长800nm厚的Ge外延层.Ge薄膜具有良好的结晶性,表面粗糙度RMS为2.06 nm.

关键词: Ge薄膜 , 低温Ge缓冲层 , 射频磁控溅射

纳米TiO2粉体的低温制备

王庆辉 , 柳清菊 , 靳映霞 , 朱忠其 , 张瑾

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.04.016

采用液相沉积法制备锐钛矿型 TiO2纳米光催化粉体,研究了沉积温度、反应物的摩尔比、沉 积时间、[TiF6]2-水溶液的浓度等对 TiO2粉体性能的影响.用甲基橙的光催化降解表征了所制备 的 TiO2粉体的光催化活性.结果表明光催化活性最佳的实验参数为:温度为 90℃,( NH4) 2TiF6与 H3BO3的摩尔比为 1: 2.5,沉积时间为 1h,加水量为 320ml.

关键词: 纳米 TiO2粉体 , 低温制备 , 液相沉积 , 光催化

溅射气压对Ge/Si纳米点表面形貌的影响

叶小松 , 王茺 , 关中杰 , 靳映霞 , 李亮 , 杨宇

功能材料

利用磁控溅射技术在Si(100)衬底上直接外延生长一系列不同压强下的Ge纳米点样品,并利用AFM、Raman和XRF对Ge纳米点样品形貌和结构进行了研究。结果表明Ge薄膜表面粗糙度在某一临界压强下发生突变,高能粒子热化的临界值与这种转变密切相联;分析讨论了Ge岛在不同溅射气压下的生长过程,在一定范围随着压强的增大会显示典型生长阶段的特征。

关键词: 磁控溅射 , Ge/Si纳米点 , 表面形貌 , 热化

TiO2/ Al2O3复合薄膜的亲水性能研究

柳清菊 , 王庆辉 , 靳映霞 , 杨喜昆 , 吴兴惠

功能材料

采用溶胶-凝胶法制备了TiO2/ Al2O3复合薄膜,通过XRD、XPS、UV透射光谱的分析及薄膜表面接触角的测量,研究了Al2O3与TiO2配比、热处理温度、膜厚度等因素对复合膜的亲水性、透光率的影响.结果表明: Al2O3的加入和膜厚度的增加均有利于TiO2薄膜亲水性的改善;热处理温度对TiO2/Al2O3复合膜的亲水性有较大影响,其中经450℃热处理的薄膜亲水性最好;Al2O3的加入未降低复合膜的可见光透光率,其平均透光率大于80%.

关键词: TiO2/Al2O3复合膜 , 溶胶-凝胶法 , 亲水性 , 接触角

纳米TiO2薄膜的低温制备

王庆辉 , 靳映霞 , 朱忠其 , 张瑾 , 柳清菊

功能材料

采用液相沉积法,在90℃下制备了纳米锐钛矿型TiO2薄膜.采用XRD、UV透射光谱、薄膜表面接触角的测量、厚度的测量及亚甲基蓝降解等手段研究了TiO2薄膜的性能.结果表明:所制备的TiO2薄膜具有较好的超亲水特性及光催化活性,在可见光范围内具有较好的透明性,其平均透光率在80%以上.

关键词: 纳米TiO2薄膜 , 低温制备 , 液相沉积 , 亲水性 , 光催化

纳米WO3的制备及性能研究

靳映霞 , 王庆辉 , 张瑾 , 朱忠其 , 柳清菊

功能材料

通过Sol-gel法制备纳米WO3材料.通过X射线衍射谱图和红外光谱图对WO3溶胶和粉体进行表征.实验表明选用过量H2O2可得到晶型较完整的WO3材料.

关键词: WO3 , sol-gel法 , H2O2

TiO2薄膜光诱导超亲水性作用机理的研究

柳清菊 , 张瑾 , 朱忠其 , 王庆辉 , 靳映霞 , 吴兴惠

功能材料

通过对固体表面亲水性作用原理的分析,提出"纳米TiO2薄膜本身就具有良好的亲水特性,与其是否具有光催化特性不直接相关"的观点,并建立了TiO2薄膜光诱导超亲水性的作用模型,分析了影响光诱导超亲水性的主要因素.

关键词: TiO2薄膜 , 光诱导超亲水性 , 作用机理 , 光催化

影响TiO2晶型和晶粒大小的因素

王庆辉 , 靳映霞 , 徐杰 , 张瑾 , 柳清菊

材料导报

TiO2是一种重要的功能材料,具有广阔的应用前景.它有3种晶型,不同的晶型具有不同的特性,其晶粒的大小也直接影响其性能.在溶胶凝胶法合成过程中,导致TiO2晶型转变及影响晶粒大小的因素有很多.综述了近年来在这方面的研究结果.

关键词: TiO2 , 晶型 , 晶粒大小 , 溶胶-凝胶法

掺银TiO2薄膜的亲水特性

柳清菊 , 李金莉 , 靳映霞 , 王庆辉 , 吴兴惠

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.04.005

采用溶胶-凝胶法及浸渍提拉法在普通的载玻片上制得含不同掺银量的TiO2薄膜,通过对薄膜及相应粉体的XRD、XPS及薄膜致密度的测量,分析了银的掺杂量对TiO2薄膜亲水特性的影响.结果表明:TiO2薄膜中银的掺杂量≤0.635mol%时有利于TiO2薄膜亲水性能的改善;表面羟基和表面桥氧的含量对TiO2薄膜的亲水性能均有直接影响.

关键词: TiO2薄膜 , 银掺杂 , 亲水特性

Ge在Si(100)-2×1表面化学吸附的第一性原理研究

陆顺其 , 王茺 , 靳映霞 , 卜琼琼 , 杨宇

人工晶体学报

应用密度泛函理论,构造了具有非对称二聚体结构的Si(100)-2×1重构表面,在系统研究了其表面结构及特性的基础上,计算了Ge在不同吸附位置的表面吸附能,以及吸附前后的表面投影态密度.计算结果表明:Ge原子在基位(pedestal)吸附最稳定.另外,在吸附Ge原子之后,我们得到了一个具有完整对称性的特殊Si原子二聚体结构.此结构中相邻的两个二聚体链互相平行且分别与Si表面平行,每对二聚体Si原子呈对称分布.

关键词: 化学吸附 , 表面吸附能 , 密度泛函理论

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