顾月良
,
李密
,
陈斌
,
何庆
,
李润伟
,
李晓龙
,
黎忠
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.06.017
使用溶胶凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上生长不同厚度与不同稀土掺杂(Nd,Ce,La)的BiFeO3(BFO)薄膜,高分辨x射线衍射实验结果表明薄膜是由无择优取向的多晶成份组成,不同厚度和掺杂的薄膜都呈现三方相.对比不同厚度BFO薄膜的结构发现,随着薄膜厚度的增加,薄膜的晶粒尺寸呈现增大的趋势,同时晶格常数也随之增大;比较不同掺杂的薄膜,发现随掺杂原子的离子半径增大(Nd,Ce,La),薄膜的晶粒尺寸随之减小,同时薄膜的晶格参数变小.这些结果表明在BFO薄膜中存在晶粒尺寸效应,BFO的晶格随着晶粒尺寸的增大而增大.
关键词:
铁电薄膜
,
微结构
,
同步辐射衍射
,
尺寸效应
