刘文科
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曹小华
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彭述明
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龙兴贵
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李宏发
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杨茂年
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张晓红
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颜登云
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王维笃
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杨本福
材料导报
研究了钼基钛膜表面氧气氧化工艺;用XRD分析了氧气氢化层的物相,其物相随氧化条件而异,含有Ti、TiO2、TiO、Ti2O、Ti3O和Ti6O等多种物相;用XPS研究了氧气氧化层钛的主要价态,其主要价态为+4、+3和+2价;用AES深度剖析研究了氧气氧化层的厚度,并研究了温度、氧气压力和时间对氧气氧化层厚度影响的规律;所有氧气氧化层均不与腐蚀介质发生作用,证明了该氧化层致密连续.
关键词:
钛膜
,
表面
,
氧化层
,
连续
