金虎
,
陆德仁
,
沈绍群
,
鲍敏杭
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.02.006
介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地
介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高灵敏度，传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有
横向效应进行了计算，结果表明此种结构的三种横向效应主要是由于质量块（岛）质心偏离梁中平面，
沿梁伸展方向（ x向）惯性力分量产生的弯矩所致。提出了调整上下盖板与中间质量块之间的气隙改
善器件频响特性的方法。报道的压阻式微机械加速度传感器量程± 1g(g为重力加速度 )，线性度优
于 0.05％，灵敏度约 1mV/gV，阻尼比 0.7，带宽 110Hz。
关键词:
加速度传感器
,
压阻式
,
横向效应
,
空气阻尼
