田野
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罗飞
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刘大博
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祁洪飞
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陈冬生
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罗炳威
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周海涛
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麦克瓦尔·里兹柯夫
航空材料学报
doi:10.11868/j.issn.1005-5053.2016.000211
采用反应溅射和后续退火工艺,在石英衬底上制备具有热致相变特性的VO2薄膜,并对薄膜的光学性能进行表征.研究发现:在弱光辐射下,随着温度的改变,薄膜的透射率在可见及近红外光区会发生显著变化,具有良好的相变光开关特性;在强光辐射下,制备的VO2薄膜同样具有良好的红外光调制深度;当脉冲激光波长为1064 nm时,随着脉冲能量的逐渐增强,薄膜的表面反射率逐渐降低,光限幅性能呈现出先升高再降低的趋势,其透射率最低可降至7%,薄膜的脉冲激光损伤阈值约为50 mJ/cm2.
关键词:
VO2
,
热致相变
,
激光防护
