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同步辐射背反射白光形貌术观察6H-SiC单晶中的小角晶界和微管

姜守振 , 黄先荣 , 胡小波 , 李娟 , 陈秀芳 , 王英民 , 宁丽娜 , 徐现刚 , 蒋民华

功能材料

利用同步辐射X射线形貌术对升华法生长的6H-SiC(0001)晶片中的小角晶界与微管缺陷进行了研究.小角晶界在同步辐射中的形貌成直线沿〈11- 00〉方向分布.根据螺位错附近的应变场和衍射几何,模拟了基本Burgers矢量大小的螺位错在同步辐射形貌像中的衍衬像,模拟结果与实验结果符合较好.据此指认了基本螺位错,并确定了微管Burgers矢量的大小.

关键词: 同步辐射背反射白光形貌术 , 小角度晶界 , 微管 , SiC , 升华法

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