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ITO废靶回收金属铟

陈坚 , 姚吉升 , 周友元 , 陈志飞 , 王玺 , 黄军武

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2003.01.024

磁控溅射镀膜后的ITO废靶, 以及ITO靶材生产中产生的边角料、切屑、废品等是再生铟的主要原料. 对废靶的还原-二次电解工艺进行了研究, 并获得了工艺参数良好、回收率高、纯度为99.993%的金属铟产品.

关键词: 铟 , 回收 , ITO废靶