黄纯可
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李伟
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刘平
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张柯
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马凤仓
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刘新宽
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陈小红
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何代华
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.06.026
利用磁控溅射工艺制备了不同Al含量的(0~20%(原子分数))AlCoCrFeNi高熵合金薄膜,研究了Al含量对AlCoCrFeNi高熵合金薄膜微观结构和力学性能的影响.结果表明,Al元素的加入,使得原CoCrFeNi四元合金薄膜中的(200)峰消失,AlxCoCrFeNi薄膜呈现出(111)晶面的择优生长取向.AlxCoCrFeNi合金薄膜形成了面心立方单一均匀的固溶体.Al元素的加入起到了固溶强化的作用,使AlxCoCrFeNi薄膜硬度相对于CoCrFeNi合金薄膜整体提高了1~2 GPa.当Al含量为0.8时,薄膜的柱状晶宽度达到最小,Al0.8CoCrFeNi薄膜在Hall-Petch关系作用下硬度显著增加,达到最大值18.7 GPa.
关键词:
AlxCoCrFeNi高熵合金薄膜
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微观组织
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力学性能
,
磁控溅射
