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Pt底层对TbFeCo薄膜磁性能与磁光性能的影响

程伟明 , 李佐宜 , 杨晓非 , 黄致新 , 鄢俊兵 , 李震 , 程晓敏 , 林更琪

稀有金属材料与工程

采用射频磁控溅射法在玻璃基片上制备了TbFeCo/Pt非晶垂直磁化膜,研究了Pt底层对TbFeCo薄膜磁性能与磁光性能的影响.结果表明:具有微小颗粒凹凸结构的Pt底层可以显著增大TbFeCo薄膜的垂直磁各向异性场与矫顽力,改善薄膜的磁光温度特性.

关键词: 射频磁控溅射 , Pt底层 , TbFeCo/Pt非晶垂直磁化薄膜 , 矫顽力 , 克尔旋转角

溅射工艺对GdTbFeCo薄膜磁光性能的影响

郭继花 , 黄致新 , 崔增丽 , 杨磊 , 邵剑波 , 朱宏生 , 章平

功能材料

采用射频磁控溅射法在玻璃基片上成功制得了GdTbFeCo非晶垂直磁化膜,研究了溅射工艺对GdTbFeCo薄膜磁光性能的影响.测量结果表明,基片与靶间距为72mm,溅射功率为75W,溅射气压为0.5Pa,薄膜厚度为120nm时,GdTbFeCo薄膜垂直方向矫顽力为477.6kA/m,克尔角为0.413°.

关键词: 射频磁控溅射 , GdTbFeCo , 磁光性能 , 溅射工艺

制备工艺及参数对TbCo薄膜垂直磁各向异性能的影响

黄致新 , 章平 , 张玉龙 , 王辉 , 吴斌 , 张锋 , 李佐宜

稀有金属材料与工程

采用射频磁控溅射法制备了TbCo非晶垂直磁化膜,并就制备工艺及参数对其磁各向异性能的影响进行了研究.结果表明:磁性层组分、溅射气压、基片偏压以及后退火温度对TbCo非晶垂直磁化膜的磁各向异性能都有不同程度的影响.当Tb含量为30%左右,或溅射气压为0.53 Pa时,TbCo薄膜的磁各向异性能Ku会呈现极大值.基片偏压超过-60V以后,TbCo薄膜Ku值开始显著上升,但超过-120 V以后,Ku值开始趋向饱和.200 ℃以上真空退火会使TbCo薄膜磁各向异性能Ku值明显下降.产生这些现象的原因与薄膜微观结构的改变有关.

关键词: TbCo薄膜 , 磁各向异性 , 磁控溅射 , 工艺参数

TbCo/Cr非晶垂直磁化膜的磁特性

黄致新 , 李佐宜 , 但旭 , 晋芳 , 林更琪

稀有金属材料与工程

在SPF-430H溅射系统上采用不加偏压的射频磁控溅射法制备了TbCo非晶垂直磁化膜,并就Cr底层对TbCo非晶垂直磁化膜磁性能的影响进行了研究.结果表明,Cr底层的存在能够增强TbCo非晶垂直磁化膜的磁各向异性,并使得其矫顽力增加.分别采用VTBH-1型高感度振动样品磁强计和MTL-1磁转矩系统测量了TbCo薄膜的磁滞回线和磁转矩曲线.结果发现,厚度为120 nm,并带有180 nm厚度Cr底层的Tb31C69薄膜的矫顽力和磁各向异性能分别高达51.2×104 A/m和0.457 J/cm3;没有带Cr底层的同样厚度的Tb31C69薄膜的矫顽力和磁各向异性能分别只有35.2×104 A/m和0.324 J/cm3.Hitachi X-650型扫描电镜的观测结果表明,带有Cr底层的TbCo薄膜具有柱状结构,这一柱状结构导致了磁各向异性能的增强以及矫顽力的提高.

关键词: 磁性 , TbCo/Cr薄膜 , 磁控溅射

光磁混合记录技术及材料进展

晋芳 , 李佐宜 , 黄致新 , 李震 , 程晓敏

材料导报

光磁混合记录技术是一种将磁光记录及磁记录的优点相结合,获得极高存储密度的新型数据记录方式.文中较全面地介绍了这种记录方式的基本原理、读写方式、记录介质及记录磁头研究现状,展望了这种记录方式的前景,探讨了目前所面临的问题.

关键词: 光磁混合记录 , 高密度存储 , 超顺磁极限 , 巨磁阻磁头

退火对TbCo薄膜结构和磁性能的影响

许小红 , 李佐宜 , 段静芳 , 张晋芳 , 黄致新 , 林更其

稀有金属材料与工程

研究了真空退火对 TbCo薄膜结构和磁性能的影响.结果表明:薄膜从溅射态的非晶薄膜转化为退火态的微晶薄膜,并以( 100)面择优取向,其 c轴平行于基片.在真空退火不改变 TbCo薄膜的成分的条件下,发现 TbCo薄膜从溅射态的垂直磁化膜转化为退火态的面内膜.

关键词: 退火 , 磁性能 , TbCo薄膜

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