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Ti-N多层膜的显微结构和压痕行为

A.WAGENDRISTEL , 黄荣芳 , H.BANGERT , 杨霞 , 吴立航 , 王海峰 , H.PANGRATZ , P.SKALICKY

金属学报

研究了Ti/TiN多层膜的显微结构,横截面试样的透射电镜研究和二次离子质谱深度分析均表明,该膜具有周期变化的多层结构,即:基体/FeTi/Ti/Ti_2N/TiN/Ti_2N/Ti/Ti_2N/TiN…Ti/Ti_2N/TiN.制备了压痕试样的断口试样,并用扫描电镜进行了观察.结果表明,多层硬膜在压痕试验时发生形变,出现压痕坑,在其周围形成材料堆积.随着所加载荷的增加,形变区扩大,越过膜/基界面进入基体,引起膜内的层间开裂和在膜/基界面上形成孔洞,研究结果表明,和单层TiN相比,Ti/TiN多层膜具有较好的韧性.

关键词: Ti-N多层膜 , microstructure , indentation

热障涂层的研究和发展

武颖娜 , 王冰 , 华伟刚 , 王福会 , 宫骏 , 孙超 , 黄荣芳 , 闻立时

材料导报

介绍了用于燃气轮机的热障涂层的发展和研究现状,系统地阐述了热障涂层的组成、制备方法、失效机理及提高使用寿命的途径.

关键词: 热障涂层 , 制备方法 , 失效机理 , 使用寿命

Ni-Cr-Al-Y涂层真空热处理过程中元素的行为

王冰 , 黄荣芳 , 宫骏 , 王启民 , 梁越 , 孙超 , 闻立时 , 韩雅芳

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2000.10.018

采用电弧离子镀技术在铸造镍基合金K17和Ni3Al基合金IC-6上沉积Ni-Cr-Al-Y涂层.结果表明,在沉积过程中由于电弧离子镀的"溅射"和"反溅射"效应以及基体和涂层发生互扩散的共同作用下,沉积的Ni-Cr-Al-Y涂层在靠近基体区含有少量基体元素,如Co,Ti和Mo等.K17合金中的Al元素可抑制Cr由涂层向基体扩散.IC-6合金中由于还含有Mo元素,使这种抑制作用进一步增强在1050℃真空热处理时,各元素互扩散能力增强,大量的Cr克服Al和Mo元素的束缚向基体扩散,最终使两种合金上沉积的Ni-Cr-Al-Y涂层中的元素均匀分布.

关键词: Ni-Cr-Al-Y涂层 , 真空热处理 , 互扩散 , 微观结构

气体介质对电弧离子镀沉积类金刚石膜的影响

邹友生 , 汪伟 , 宋贵宏 , 汪爱英 , 孙超 , 黄荣芳 , 闻立时

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2003.06.014

采用电弧离子镀方法,在Si(100)基底上分别在高纯Ar、高纯H2和C2H2的气氛下沉积类金刚石膜,利用激光Raman谱和X射线光电子能谱(XPS)对沉积膜的结构进行了分析.结果表明与在高纯H2和C2H2气氛下相比,在高纯Ar中沉积类金刚石膜Raman谱的ID/IG值最小,膜中sp3C含量最高为35.55%.纳米压痕仪测量结果表明不同气氛下沉积膜的硬度和弹性模量分别在16.7~34.8GPa和143.2~236.9GPa之间变化.在高纯Ar气氛下沉积膜的硬度和弹性模量最大分别为34.8GPa和236.9GPa.

关键词: 电弧离子镀 , 类金刚石膜 , 微观结构 , 力学性能

ZnO:Al薄膜的组织结构与性能

裴志亮 , 谭明晖 , 杜昊 , 陈猛 , 孙超 , 黄荣芳 , 闻立时

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2000.05.018

用直流磁控反应溅射合金靶制备了ZnO薄膜,研究了衬底温度和退火温度对薄膜的结构及电学和光学性能的影响.衬底温度升高能改善薄膜的电学特性,其原因是薄膜晶粒尺寸的增大.温度升高导致薄膜基本光学吸收边向短波移动,但对高透射区(450~850nm)的透射率影响不大.

关键词: ZnO薄膜 , 温度 , 光学吸收边 , 透射率

偏压对阴极电弧离子镀AIN薄膜的影响

黄美东 , 董闯 , 宫骏 , 卢春燕 , 孙超 , 黄荣芳 , 闻立时

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2001.06.016

在不同基体负偏压作用下,用阴极电弧离子镀等离子体物理气相沉积(PVD)方法在单晶Si(100)基片上获得六方晶系的晶态AlN薄膜用X射线衍射仪分析了沉积膜的物相组成和晶格位向随偏压的变化,在扫描电子显微镜(SEM)下观察沉积膜的显微组织形貌.结果表明,在较小偏压下,AlN膜呈(002)择优取向,表面致密均匀;在较大偏压下,AlN膜呈(100)择优取向,表面形貌则粗糙不平.AlN薄膜的择优取向及表面形貌受到不同偏压下不同离子轰击能量的影响.

关键词: 偏压 , 阴极电弧离子镀 , 物理气相沉积 , AlN薄膜

透明导电薄膜ZnO:Al(ZAO)的性能及其在有机发光二极管中的应用

曹鸿涛 , 裴志亮 , 孙超 , 黄荣芳 , 闻立时 , 白峰 , 邓振波

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2003.03.023

研究了ZAO透明导电薄膜的微观组织结构、化学成分及其电学光学特性.结果表明,多晶ZAO薄膜呈柱状晶并具有(002)面择优取向,c轴晶格常数大于0.52000 nm;ZAO薄膜不同微区之间的成分不均匀导致了电学性能的不均匀;ZAO薄膜的电阻率和在可见光区的平均透射率分别为1.39×10-4Ω.cm和80.8%,其透射率和吸收率曲线均具有明显的波动性,该波动性影响以ZAO为阳极的有机发光二极管的发射光谱,在5.38 A/m2电流密度下二极管的发光效率大于2 cd/A.

关键词: ZnO:Al薄膜,电学、光学性能,电致发光,有机发光二极管

电弧离子镀沉积Al(Cr)-O-N扩散阻挡层的研究

王启民 , 武颖娜 , 纪爱玲 , 柯培玲 , 孙超 , 黄荣芳 , 闻立时

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2004.01.016

采用电弧离子镀方法在高温合金DSM11基材上沉积Al-O-N和Cr-O-N薄膜,研究了不同O2,N2流量对薄膜相结构的影响以及高温下DSM11/NiCoCrAlY,DSM11/Al-O-N/NiCoCrAlY和DSM11/Cr-O-N/NiCoCrAlY体系的元素互扩散行为.实验结果表明,Al(Cr)-O-N薄膜均为多晶膜,分别具有α-Al2O3+六方AlN和Cr2O3+CrN的相结构,随着N2,O2流量的改变,两相的相对含量发生变化.在1050℃下氧化100 h后,Al-O-N层阻挡基体与涂层间元素互扩散的作用优于Cr-O-N层.扩散阻挡层对涂层的氧化动力学影响不大.

关键词: Al-O-N , Cr-O-N , 扩散阻挡层 , 电弧离子镀

电弧离子镀Ni-Co-Cr-Al-Y-Si-B涂层的热腐蚀性能

王启民 , 武颖娜 , 柯培玲 , 纪爱玲 , 孙超 , 黄荣芳 , 闻立时

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2004.04.014

采用电弧离子镀技术在DZ125和DSM11两种镍基高温合金基材上沉积Ni-Co-Cr-Al-Y-Si-B涂层,研究了高温合金基材及其Ni-Co-Cr-Al-Y-Si-B涂层在900℃的75%Na2SO4+25%K2SO4熔盐中的热腐蚀行为.结果表明,Ni-Co-Cr-Al-Y-Si-B涂层在热腐蚀过程中生成了连续致密的Q-Al2O3氧化膜,有效地保护了合金基材免受腐蚀破坏,合金基材的热腐蚀性能对体系后期的热腐蚀行为影响很大.

关键词: Ni-Co-Cr-Al-Y-Si-B涂层 , 电弧离子镀 , 熔盐 , 热腐蚀

纳米Al膜在可见和红外频段吸收率的尺寸效应

杜昊 , 裴志亮 , 华伟刚 , 孙超 , 黄荣芳 , 闻立时

材料导报

纳米Al膜在可见和红外频段的吸收率随薄膜厚度变化的关系表明,金属薄膜吸收率具有尺寸效应,并具有极大值.对比纳米Al膜直流电导率的实验结果,结构特征变化是导致吸收率尺寸效应的重要原因.

关键词: 纳米Al膜 , 吸收率 , 尺寸效应

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