齐东丽
,
雷浩
,
范迪
,
裴志亮
,
宫骏
,
孙超
金属学报
doi:10.11900/0412.1961.2014.00549
采用直流反应磁控溅射技术在M2高速钢基片上制备了不同Mo含量的CrMoN复合涂层,研究了Mo含量的变化对CrMoN复合涂层成分、相结构、化学价态、截面形貌、显微硬度和摩擦性能等的影响.结果表明,随着Mo含量的增加,CrMoN复合涂层的相结构先转变为以fcc-CrN相为基础的(Cr,Mo)N置换式固溶体,后转变为以fcc-γ-Mo2N相为主的混合相,当Mo含量为69.3％(原子分数)时,伴有少量的bcc-Mo相生成;CrMoN复合涂层的显微硬度先增加后降低,在Mo含量为45.4％时具有最高值;当Mo含量大于45.4％时,在与对磨副摩擦过程中会生成大量的MoO3相,降低了摩擦系数和磨损率.
关键词:
CrMoN复合涂层
,
磁控溅射
,
显微硬度
,
摩擦系数
