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CeO2掺杂ZnO厚膜的制备及气敏性能的研究

曹冠龙 , 潘国峰 , 何平 , 齐景爱 , 刘伟 , 郑伟艳

功能材料

采用sol-gel法制备ZnO及CeO2掺杂量分别为6%、7%和8%(质量分数)的ZnO粉体.通过XRD、SEM对材料的表面形貌和结构进行表征.研究了掺杂量对粉体制备的影响.采用静态配气法对该粉体制成的气敏元件进行测试,结果表明,在工作温度仅为85℃的条件下,7%(质量分数)CeO2-ZnO气敏传感器对饱和丙酮蒸汽的灵敏度最高达9634,响应时间为3s,恢复时间为2s;在较低浓度2.0×10-4时灵敏度也可达30左右.并对丙酮气敏传感器的气敏机理进行了进一步探讨.

关键词: CeO2 , ZnO , 紫外线 , 丙酮 , 气敏

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