秦卓
,
朱军
,
吴隽
,
张莉
,
龚甜
,
从善海
,
祝柏林
材料导报
6.5％(质量分数)Si高硅钢具有优异的软磁性能和广阔的应用前景,然而其室温脆性和低的热加工性极大地制约了它的发展.近年来,人们对高硅钢制备技术的研究已经取得了很大的进展,如何通过织构的优化提高高硅钢的磁性能越来越受到人们的关注,归纳和总结了不同工艺制备的高硅钢中的织构演变规律和特点,以及对应的典型磁性能.
关键词:
高硅钢
,
制备工艺
,
织构
,
磁性能
江鑫
,
贾涓
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吴隽
,
龚甜
,
卢智
人工晶体学报
以发生了二次再结晶的高纯Al为衬底材料,采用射频磁控溅射法制备了ZnO薄膜.研究了溅射工艺及Al衬底取向对ZnO薄膜的影响,分析了Al衬底取向与ZnO薄膜织构的关系.结果显示,当溅射工艺恰当时,高纯Al衬底上可以制备出晶态ZnO薄膜,但Al衬底的取向对ZnO薄膜的结晶性具有更大的影响.Al衬底的轧面上主要为{100}面织构,沉积的ZnO薄膜主要是{0002}面织构和少量的{1120}面织构组分.
关键词:
铝衬底
,
ZnO薄膜
,
织构
