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多弧离子镀(Ti,W)xN合金涂层组织与性能

曾鹏 , 胡社军 , 谢光荣 , 黄拿灿 , 吴起白

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2000.09.010

采用Ti/W复合靶用多弧离子镀技术沉积了(Ti,W)xN合金涂层,并对该涂层的组织与性能进行了研究.结果表明,涂层组织致密,孔隙率极低,主要结构为(Ti,W)2N,并具有较高的显微硬度和抗氧化性.在沉积过程中存在着多元合金涂层与复合靶的成分离析现象,这与靶材的结构有关.

关键词: 多弧离子镀 , (Ti,W)xN涂层 , 组织性能 , 成分离析