刘金秋
,
彭立华
,
秦善
耐火材料
doi:10.3969/j.issn.1001-1935.2016.04.003
为了研究Si3N4添加量对熔融石英坩埚在铸锭过程中结晶化的影响,首先在熔融石英浆料中添加不同量(质量分数为0、0.01％、0.05％和0.1％)的氮化硅粉,经注浆成型、140℃保温10 h干燥和1 150℃保温6h烧后制备了熔融石英坩埚,然后在铸锭炉中进行最高温度为1 540℃,历时约52 h的多晶硅铸锭过程,最后用透射反射偏光显微镜观察铸锭后坩埚的显微结构,用X射线衍射仪分析铸锭后坩埚的物相组成,并计算其结晶度和晶粒尺寸.结果表明:随着Si3N4添加量的增加,铸锭后熔融石英坩埚中结晶相α-方石英的含量逐渐降低,晶粒尺寸逐渐减小.
关键词:
熔融石英坩埚
,
氮化硅
,
结晶度
,
α-方石英
刘金秋
,
彭立华
,
秦善
人工晶体学报
通过X射线衍射测试、薄片观察、SEM形貌分析、显气孔率和体积密度测量等方法,对熔融石英坩埚在烧结和铸锭过程中的物相、结构和性质变化进行了表征;为提高坩埚的强度和致密性,分别进行了烧结实验和硅溶胶浸渍实验.在本实验条件下,α-方石英的(101)衍射峰强度与坩埚结晶度呈线性相关(相关系数r=0.9999),可应用于坩埚结晶度的检测;保温时间为6h时,坩埚烧结的上限温度为1170℃,此时其结晶度为0.6％;比较了不同的硅溶胶浸渍方式对于坩埚致密度的影响,其中真空浸渍效果较明显,使得坩埚的显气孔率下降13％,体积密度上升7％.
关键词:
熔融石英坩埚
,
烧结温度
,
相变
,
α-方石英
,
结构
