曾振欧
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李哲
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杨华
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赵国鹏
电镀与涂饰
采用Ir-Ta氧化物涂层阳极(DSA)和直流电解法研究了酸性蚀刻液的阳极氧化再生回用过程.酸性蚀刻液在Ir-Ta氧化物涂层阳极的氧化再生过程中发生浓差极化,电极反应速率为Cu+离子扩散传质所控制,极限电流密度与Cu+离子浓度和温度成正比,采用小于或等于极限电流密度的电流密度进行阳极氧化时不析出氯气.酸性蚀刻液阳极氧化再生的电流密度小,槽电压低,电解能耗少,电流效率可达到100%.阳极氧化再生后酸性蚀刻液的蚀刻能力与双氧水再生的相近,完全可以替代双氧水再生.
关键词:
酸性蚀刻液
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铱-钽氧化物涂层阳极
,
阳极氧化
,
一价铜离子
,
再生
曾振欧
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李哲
,
杨华
,
赵国鹏
电镀与涂饰
通过测量CuCl_2-CuCl-NaCl-HC溶液的氧化还原电位(ORP),研究了酸性蚀刻液在蚀刻过程与电化学再生过程中ORP与溶液组成和温度的关系.结果表明,酸性蚀刻液的ORP随Cu~+离子质量浓度的增加而降低,且在Cu~(2+)离子质量浓度较高或总Cu质量浓度变化不大时与Cu~+离子质量浓度的对数成正比.酸性蚀刻液中的溶解氧、Cu~(2+)离子,Cl~-离子和H~+离子的浓度以及温度对ORP的测量有一定影响,但最大误差不超过0.9%.溶液组成一定时,ORP与测量温度成正比.ORP的测量可以指示酸性蚀刻液的蚀刻速率及其电化学再生过程.
关键词:
酸性铜蚀刻液
,
氧化还原电位
,
电化学氧化
,
再生
,
一价铜离子
曾振欧
,
李哲
,
杨华
,
赵国鹏
电镀与精饰
doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2010.11.009
采用Ir-Ta氧化物涂层阳极(DSA)和直流电解法研究了酸性蚀刻液的阳极氧化再生回用过程.酸性蚀刻液在Ir-Ta氧化物涂层阳极的氧化再生过程中发生浓差极化,电极反应速率为Cu+离子扩散传质所控制,极限电流密度与Cu+离子浓度和温度成正比,采用小于或等于极限电流密度的电流密度进行阳极氧化时不析出氯气.酸性蚀刻液阳极氧化再生的电流密度小,槽电压低,电解能耗少,电流效率可达到100%.阳极氧化再生后酸性蚀刻液的蚀刻能力与双氧水再生的相近,完全可以替代双氧水再生.
关键词:
酸性蚀刻液
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铱-钽氧化物涂层阳极
,
阳极氧化
,
一价铜离子
,
再生
